CVD，スパッタリング，ドライエッチングなどの薄膜・微粒子作製，および，それらの加工に関わる反応メカニズムの解析やプロセス設計と，その応用による各種デバイス，機能性材料作製に関する発表を集め，集中的に議論することを目標に本シンポジウムを企画しました．上記プロセスの反応素過程の解析，吸着・反応などの各種表面過程の解析や観測，シミュレーションに関わる研究，ならびに，デバイス応用等の研究を対象とします．