講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
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(9:40~11:00) (座長 杉山 正和) | |||||
A203 | 熱CVD法で作製したSr-Ti酸化物薄膜の組成 | CVD EDX Strontium Titanate | S-45 | 510 | |
A204 | モノメチルシランガスによる多結晶SiC薄膜低温成長 | SiC Monomethylsilane CVD | S-45 | 33 | |
A205 | RF非平衡プラズマ場を用いた高分散ナノ粒子合成プロセス | Non-agglomerated particle Nonequilibrium plasma Unipolar charge | S-45 | 953 | |
A206 | 単層カーボンナノチューブの垂直配向成長におけるAl2O3下地の効果 | single-walled carbon nantoube Co catalyst Al2O3 underlayer | S-45 | 629 | |
(11:00~12:00) (座長 瀬戸 章文) | |||||
A207 | COを炭素源とするプラズマCVDによる炭素系高機能材料合成 | Plasma enhanced CVD Carbon nanowall Carbon nanofiber | S-45 | 712 | |
A208 | 超臨界二酸化炭素中における金属酸化物薄膜の作製 | supercritical carbon dioxide deposition metal oxide thin film | S-45 | 706 | |
A209 | In-situ赤外分光分析を用いた円管型CVD反応器内の2次元濃度分布の測定 | Pyrocarbon CVD Infrared absorption | S-45 | 62 | |
(13:00~13:40) (司会 河瀬 元明) | |||||
A213 | [展望講演] 気相反応による粒子生成とモデリング | CVD Particle formation Modeling | S-45 | 60 | |
(13:40~15:00) (座長 秋山 泰伸) | |||||
A215 | 単分散エアロゾル触媒を用いたCNTの気相合成 | Carbon nanotube Laser ablation Chemical vapor deposition | S-45 | 418 | |
A216 | 添加剤フリーでの単層カーボンナノチューブ・サブミリメータ成長 | single-walled carbon nanotubes rapid growth growth mechanism | S-45 | 710 | |
A217 | ナノサイズクラスターの堆積による表面形態の形成過程 | Cluster Nanostructure Thin Film | S-45 | 917 | |
A218 | 微細孔埋め込みプロセスとしてのCVDと超臨界薄膜形成法の比較 | Supercritical fluid Chemical vapor deposition Step coverage | S-45 | 737 |