CVD，スパッタリングなどのドライプロセスによる薄膜・微粒子形成を中心に，ナノ・ミクロレベルでの構造制御・機能制御に関する話題を集め，集中的に議論する場とします。光・電子デバイス，MEMS，マイクロリアクタなどの形成において，必要な薄膜の構造や機能を経験的にではなく，論理的に最適化するための方法論を議論します。