大面積かつ低コストでの薄膜・微粒子形成技術や新しい高機能膜の製膜・加工技術が、太陽電池や電子デバイス、MEMS、マイクロリアクタなど様々な分野で求められています。本シンポジウムでは、薄膜形成・微粒子合成・微細加工プロセスにおける構造・機能制御技術について、最適条件を経験的に探索するのではなく、反応メカニズムの理解を通した論理的な最適化を目指し議論することを目的とします。なお、優秀な発表をされた若手研究者には、CVD反応分科会奨励賞を贈呈します。