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化学工学会 第44回秋季大会

S-8. [CR/MI] CVD・ドライプロセス −構造・機能制御の反応工学−

オーガナイザー 森伸介(東工大)・野田優(東京大)・池田圭(アテナシス)

大面積かつ低コストでの薄膜・微粒子形成技術や新しい高機能膜の製膜・加工技術が、太陽電池や電子デバイス、MEMS、マイクロリアクタなど様々な分野で求められています。本シンポジウムでは、薄膜形成・微粒子合成・微細加工プロセスにおける構造・機能制御技術について、最適条件を経験的に探索するのではなく、反応メカニズムの理解を通した論理的な最適化を目指し議論することを目的とします。なお、優秀な発表をされた若手研究者には、CVD反応分科会奨励賞を贈呈します。


シンポジウム番号・講演分類番号一覧
化学工学会 第44回秋季大会

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Most recent update: 2012-06-26 18:15:49
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E-mail: inquiry-44fwww3.scej.org
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