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化学工学会 第45回秋季大会

S-3. [HT & CR & FP] プラズマプロセッシングによる化学工学の新展開

オーガナイザー 渡辺隆行(九州大),尾上薫(千葉工大),本間俊司(埼玉大)

プラズマプロセッシングは電子デバイスプロセスの中核技術をはじめとして,機能性薄膜の作製,ナノ粒子合成,表面処理,廃棄物処理などの幅広い分野に応用されている。本シンポジウムでは,プラズマプロセッシングの基礎と応用に関する討論をもとに,化学工学における新たな展開を探る。


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化学工学会 第45回秋季大会

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Most recent update: 2013-08-06 19:15:13
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