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化学工学会 第77年会

講演プログラム（会場・日程別）

O会場 第1日

最終更新日時：2012-03-09 14:23:08
講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
エレクトロニクス
(13:00～13:40)　(座長 齊藤 丈靖)
13:00～ 13:20O113枚葉式シリコンウエハ湿式洗浄機における水流観察
(横国大院工) 大橋 新太郎 ・ 土持 鷹彬 ・ ○(正)羽深 等 ・ (プレテック) 木下 哲男
洗浄
水流
シリコンウエハ
11-a18
13:20～ 13:40O114ノズルから配線板に衝突するエッチング液の流れ
(京大) ○(正)荻野 文丸
etching by cupric chloride
stagnation jet
pressure distribution
11-a167
(13:40～14:20)　(座長 瀧 健太郎)
13:40～ 14:00O115急速液置換による銅めっき用有機系添加剤の吸着作用の定量化
(阪府大院工) ○(学)宮本 豊 ・ 服部 直 ・ (正)岡本 尚樹 ・ (正)齊藤 丈靖 ・ (正)近藤 和夫
copper
electrodeposition
organic additives
11-b573
14:00～ 14:20O116MWCNTs上への金属析出制御
(阪府大院工) ○(学)高木 康行 ・ (正)齊藤 丈靖 ・ (正)岡本 尚樹 ・ (正)近藤 和夫 ・ (阪市工研) 小林 靖之 ・ 藤原 裕
carbon nanotube
silver
electroless plating
11-b588
(14:20～15:20)　(座長 羽深 等)
14:20～ 14:40O117炭酸ガスを利用した感光性ポリイミド前駆体の多孔化における予備乾燥の影響
(京大工) ○(正)瀧 健太郎 ・ (学)満渕 裕幸 ・ (正)大嶋 正裕
dielectric
polyimide
drying
11-i436
14:40～ 15:00O118スパッタイオンプレーティング法によるTSVへのCuシード膜の作製
(新明和工業(技)) ○(正)丸中 正雄 ・ 土屋 貴之 ・ (阪府大院工) (正)近藤 和夫 ・ (正)齊藤 丈靖 ・ (正)岡本 尚樹 ・ (学)林 太郎
Sputter-Ion-Plating
Cu Seed
TSV
11-a404
15:00～ 15:20O119プリアプライド型接続材料を用いた実装評価
(住友ベークライト) ○西川 佳樹 ・ 前島 研三 ・ 桂山 悟
Chip on chip
Bonding
Joint reliability
11-i574
講演プログラム
化学工学会 第77年会
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Most recent update: 2012-03-09 14:23:08
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