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化学工学会 第81年会 (2016)

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11) エレクトロニクス

11-c. 微細加工技術（エッチング、薄膜形成、等）

最終更新日時：2016-05-19 11:21:01

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791Siナノホール基板を用いた熱電変換素子の高効率化
(阪府大工) (学)○森本 隆之・ (阪府大院工) (正)河野 弘毅・ (正)井上 陸・ (阪府大工) Wang Kaipeng・ (阪府大院工) (正)津久井 茂樹・ (正)足立 元明		thermoelectric
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