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化学工学会 第86年会

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11) エレクトロニクス

11-c. 微細加工技術(エッチング、薄膜形成、等)

最終更新日時:2021-08-21 18:44:01

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434H-SiC ウエハエッチングにおける三フッ化塩素ガス分散構造の設計と検証
(横国大) 林 優也(正)○羽深 等(関東電化) (法)高橋 至直(産総研) 加藤 智久
SiC
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