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化学工学会 姫路大会 2014

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11) エレクトロニクス

11-b. 電子材料プロセス（半導体製造、電子回路製造、等）

最終更新日時：2015-01-20 21:43:49

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番号		講演題目／発表者キーワード発表形式
80ブロックコポリマーを用いた微細加工プロセスのモデリングと最適化
(京大) ○(正)吉元 健治・ (学)深渡瀬 健・ (正)大嶋 正裕		Directed Self Assembly
Simulations
Lithography
O
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