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化学工学会関西大会2021

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11) エレクトロニクス

11-b. 電子材料プロセス（半導体製造、電子回路製造、等）

最終更新日時：2022-05-16 10:39:01

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Spin coating1件
Substrate surface cleaning1件
TIPS-pentacene thin films1件

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92スピンコート法によるTIPS-ペンタセン製膜に対する基板表面洗浄による基板状態と薄膜特性の影響
(金沢大理工) (学)○奥田 葵衣・ (学)内田 博久		Spin coating
Substrate surface cleaning
TIPS-pentacene thin films
O
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