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第18回化学工学会学生発表会(福岡大会)

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5) 反応工学

5-h. CVD・ドライプロセス

最終更新日時：2016-05-19 11:12:01

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Hexamethyldisiloxane1件
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43表面微細構造を制御した超硬合金上に成長したTiC系CVD硬質膜の物性評価
(阪府大工) (学)○田中 千尋・ (阪府大院工) (学)鈴木 聡一郎・ (正)岡本 尚樹・ (正)齊藤 丈靖・ (阪府大21世紀) (正)近藤 和夫・ (阪大産研) 樋口 宏二・ 北島 彰		adhesion strength
surface treatment
O
101プラズマCVD法で作製したシリカ膜の膜応力
(京大工) (学)○脇坂 知樹・ (学)竹田 依加・ (正)河瀬 元明		Silica CVD
Hexamethyldisiloxane
Stress
O
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