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化学工学会 第45回秋季大会

講演プログラム(会場・日程別)

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D 会場・第 2 日

最終更新日時:2013-08-20 14:03:53
講演
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講演
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番号
シンポジウム <CVD・ドライプロセス −構造・機能制御の反応工学−>
(10:00〜12:00) (座長 齊藤 丈靖・池田 圭)
10:00〜 10:20D204Structure and electrochemical performance of rapidly deposited silicon-based porous films for lithium ion rechargeable batteries
(東大院工) ○(学)李 重昊・ (住友化学) 松本 慎吾・ 中根 堅次・ (早大先進理工) (正)野田 優
physical vapor deposition
porous silicon films
lithium ion batteries
S-2956
10:20〜 10:40D205モノメチルトリクロロシランを原料としたSiC-CVDプロセスにおける表面反応を考慮した素反応機構の構築
(東大院工) ○(学)佐藤 登・ (学)舩門 佑一・ (学)福島 康之・ (学)杉浦 秀俊・ (IHI基盤研) 保戸塚 梢・ (東大院工) (正)百瀬 健・ 越 光男・ (東大院工) (正)霜垣 幸浩
SiC
CVD
reaction mechanism
S-2637
10:40〜 11:00D206モノメチルトリクロロシランを原料としたSiC-CVDプロセスの総括反応モデルの検討
(東大院工) ○(学)福島 康之・ (学)佐藤 登・ (学)舩門 佑一・ (学)杉浦 秀俊・ (IHI基盤研) 保戸塚 梢・ (東大院工) (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
SiC
CVD
Methyltrichlorosilane
S-2436
11:00〜 11:20D207プラズマCVD法によるヘキサメチルジシロキサンと酸素からのシリカ成膜
(京大工) ○(学)竹田 依加・ (学)永冶 渉・ (学)高橋 諒・ (正)河瀬 元明
Plasma CVD
HMDSO
silica
S-2835
11:20〜 11:40D208赤色発光シリコン材料の気相合成と発光特性
(東大院工) ○(学)大武 秀稔・ (農工大院BASE) (正)稲澤 晋・ (東大環安セ/東大院工) (正)辻 佳子・ (東大院工) (正)山口 由岐夫
CVD
nanoparticles
photoluminescence
S-2410
11:40〜 12:00D209亜鉛還元法によるシリコン形態形成メカニズム
(東大院工) ○(学)小野 大和・ (農工大院BASE) (正)稲澤 晋・ (東大環安セ/東大院工) (正)辻 佳子・ (東大院工) (正)山口 由岐夫
zinc reduction reaction
silicon
supersaturation
S-2413
(13:00〜14:20) (座長 下山 裕介・川上 雅人)
13:00〜 13:40D213[展望講演] ナノマテリアルプロセッシングのための超臨界流体の利用
(東北大) ○(正)阿尻 雅文
Supercritical
Nano
Processing
S-2885
13:40〜 14:00D215[招待講演] 超臨界流体を利用した化合物半導体太陽電池製造の低コスト化
(東北大多元研) ○(正)笘居 高明・ (正)本間 格
supercritical fluid
selenization
solar cells
S-2351
14:00〜 14:20D216アルコール添加による超臨界流体を用いたTiO2膜形成
(東大院工) ○(学)趙 ユウ・ (学)鄭 珪捧・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
Supercritical fluid deposition
TiO$2$
alcohol
S-2622
(14:20〜15:40) (座長 河瀬 元明・筑根 敦弘)
14:20〜 15:00D217[展望講演] MOCVDによる窒化物半導体の気相成長
(大陽日酸) ○松本 功
Nitride Semiconductors
MOCVD
Quantum Chemical Calculation
S-2377
15:00〜 15:20D219GaN系MOVPEにおける成長速度・組成の解析と制御(1)
(東大院工) ○(正)百瀬 健・ 神谷 達也・ (正)杉山 正和・ (正)霜垣 幸浩
GaN
MOVPE
反応解析
S-2855
15:20〜 15:40D220GaN系MOVPEにおける成長速度・組成の解析と制御(2)
(ミラノ工大) ○Ravasio Stefano Valerio・ (東大院工) (正)百瀬 健・ 藤井 克司・ (正)霜垣 幸浩・ (ミラノ工大) Carlo Cavallotti・ (東大院工) (正)杉山 正和
GaN
MOVPE
反応解析
S-2931

講演発表プログラム
化学工学会 第45回秋季大会

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Most recent update: 2013-08-20 14:03:53
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