第1日 | |||||
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講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
シンポジウム <反応工学の新しい展開> | |||||
(9:00〜10:00) (座長 山下健一) | |||||
L101 | マイクロリアクター内の物質移動観測技術に関する研究 | Microreactor Raman microscopic spectrometer Mass transport | S-34 | 665 | |
L102 | 矩形マイクロチャネル内における層流流体の温度分布と昇温過程 | microchannel temperature distribution computational fluid dynamics | S-34 | 581 | |
L103 | マイクロ流路を利用したイオン濃縮回収における流路形状と濃縮度の関係 | microchannel electrophoresis ion enrichment | S-34 | 441 | |
(10:00〜11:00) (座長 片岡 祥) | |||||
L104 | マイクロ流体中におけるDNAの2本鎖形成の熱力学的性質 | laminar flow microchannel conformational entropy | S-34 | 547 | |
L105 | マイクロ流路を利用した多段蒸留の検討 | microchannel distillation phase separation | S-34 | 764 | |
L106 | マイクロミキサーを用いた乳化プロセスの設計 | emulsification micromixer convection mixing | S-34 | 580 | |
(11:00〜12:00) (座長 松山一雄) | |||||
L107 | マイクロリアクタを用いた銅ナノコロイドの調製 | microreactor copper nanoparticle stability of colloid | S-34 | 356 | |
L108 | マイクロ空間を用いたリチウムマンガンスピネルナノ粒子の合成 | microspace spray pyrolysis lithium manganese spinel | S-34 | 548 | |
L109 | マイクロ流路内の液滴を利用した高分子重合と高分子微粒子製造法の検討 | マイクロ反応工学 重合反応 高分子粒子 | S-34 | 73 | |
(13:00〜13:40) (座長 谷口 泉) | |||||
L113 | マイクロチャンネルを用いた電子ペーパー用単分散2色粒子の開発 | microchannel electronics paper particles | S-34 | 145 | |
L114 | メソ多孔体を担持したマイクロリアクターの作製と反応特性 | microreactor mesoporous catalytic reaction | S-34 | 954 | |
(13:40〜14:20) (座長 牧 泰輔) | |||||
L115 | マイクロリアクタを利用したアジン合成法の検討 | microchannel azine synthesis | S-34 | 776 | |
L116 | マイクロチューブリアクターによる過酸化水素の合成 | Hydrogen peroxide Electrolysis Catalytic reaction | S-34 | 267 | |
(14:20〜15:20) (座長 草壁克己) | |||||
L117 | マイクロ流路における無次元数を用いた反応収率評価 | microreactor consecutive reaction mixing-reaction number | S-34 | 907 | |
L118 | 乱流拡散を用いたマイクロリアクタにおける反応収率評価 | microreactor dimensionless number turbulent diffusion | S-34 | 912 | |
L119 | 多段迅速操作に対応した機能アセンブル型マイクロリアクターの開発 | unit assemble microreactor multistage rapid operation | S-34 | 12 | |
(15:20〜16:20) (座長 松岡辰郎) | |||||
L120 | C12A7から放出される酸素負イオンに由来する活性化学種の生成過程 | C12A7 oxygen anion radical species | S-34 | 752 | |
L121 | 大気圧におけるC12A7由来気相活性酸素種の輸送性と酸化反応促進への利用 | C12A7 active oxygen species silicon oxydation | S-34 | 685 | |
L122 | マイクロバルブによるスラグ流の発生と抽出プロセスへの適用 | slug flow micro valve extraction | S-34 | 324 | |
(16:20〜17:20) (座長 尾上 薫) | |||||
L123 | 超音波照射下におけるラジカル生成量の電子スピン共鳴装置を用いた評価 | ultrasound irradiation hydroxyl radical Electron Spin Resonance | S-34 | 352 | |
L124 | 有機溶媒系におけるソノリアクターの性能評価の検討 | onochemical reactor cavitation organic solvent | S-34 | 224 | |
L125 | セルロースの有効利用のためのソノプロセス | cellulose ultrasonic separation | S-34 | 561 | |
(17:20〜18:00) (座長 西岡将輝) | |||||
L126 | 酸素プラズマと炭化水素分子との接触反応 | microwave plasma oxidation | S-34 | 501 | |
L127 | 気液放電によるフェノール分解 | phenol discharge water | S-34 | 762 | |
第2日 | |||||
講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
シンポジウム <CVD・ドライプロセス> | |||||
(9:00〜10:00) (座長 野田 優) | |||||
L201 | LPI法を用いたBTXからのカーボンナノファイバーの高効率製造 | Carbon nanofibers Liquid pulse injection technique BTX | S-35 | 495 | |
L202 | 詳細な化学反応スキームとCFDとのカップリングによる熱分解炭素CVDの数値シミュレーション | CVD CFD carbon | S-35 | 995 | |
L203 | 熱分解炭素CVDにおける反応器内半径方向ガス組成分布の赤外分光分析 | pyrocarbon CVD infrared absorption | S-35 | 445 | |
(10:00〜11:00) (座長 河瀬元明) | |||||
L204 | 目的に応じた単層カーボンナノチューブの合成 | single-walled carbon nanotubes customized synthesis combinatorial method | S-35 | 588 | |
L205 | 単層カーボンナノチューブ垂直配向成長と触媒ナノ粒子の粗大化・失活 | single-walled carbon nanotubes rapid growth catalyst deactivation | S-35 | 598 | |
L206 | 大気圧プラズマによるダメージフリーCVDの構築と垂直配向単層カーボンナノチューブ合成への展開 | Atmospheric pressure non-thermal plasma Single-walled carbon nanotubes Ion damage | S-35 | 23 | |
(11:00〜12:00) (座長 野崎智洋) | |||||
L207 | 非平衡COプラズマを用いたダイヤモンド薄膜の低温合成 | plasma CVD diamond thin film low temperature synthesis | S-35 | 174 | |
L208 | プラズマエッチングにおけるイオンエネルギー分布解析 | Plasma Etching Ion Energy Distribution Reactive Ion Etching | S-35 | 511 | |
L209 | 試験構造基板を利用したC5F8/O2/Arプラズマ反応のメカニズム解析 | plasma CVD Dry Etching Reaction Kinetics | S-35 | 453 | |
(13:00〜14:20) (座長 杉山正和) | |||||
L213 | [展望講演] 近接場光を用いたCVDによるナノ加工とその応用 | Optical Near-Fields Photo-CVD Photochemical Reaction | S-35 | 178 | |
L215 | アルゴン-水素アークによるSn-Ag合金からの選択的蒸発促進機構の検討 | DC arc Vaporization Enhancement Sn-Ag alloy | S-35 | 624 | |
L216 | スキャニングアニールによるナノ粒子FeSi2/Si複合薄膜の作製とそのナノ構造 | Iron Silicide Zone Melting Crystallization Nano-particle | S-35 | 987 | |
(14:20〜15:20) (座長 霜垣幸浩) | |||||
L217 | 薄膜ZMC法によるFeSi2薄膜の作製と温度による結晶相の制御 | solar cell Iron silicide crystallization | S-35 | 991 | |
L218 | W/Oエマルジョンの燃料過濃燃焼によるNi超微粒子の製造 | nano particle W/O emulsion combustion | S-35 | 653 | |
L219 | 固体間発熱現象を利用したTiO2ナノ粒子のフラッシュ合成 | nanofabrication solid state reaction oxide materials | S-35 | 781 | |
第3日 | |||||
講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
シンポジウム <CVD・ドライプロセス> | |||||
(9:00〜10:00) (座長 玉置直樹) | |||||
L301 | シリコン表面における有機物分子吸着脱離挙動のその場観察 | Silicon Organic compound adsorption | S-35 | 168 | |
L302 | InGaAsP系MOVPEにおけるV族吸脱着速度と固相組成 | MOVPE Crystal Growth Simulation | S-35 | 769 | |
L303 | GaAsおよびInPのMOVPEにおける表面吸着層の速度過程比較 | MOVPE Surface adsorption layer kinetics | S-35 | 790 | |
(10:00〜11:00) (座長 羽深 等) | |||||
L304 | 高速回転型CVD装置を用いたGaAs成長プロセスにおけるH2/N2混合ガスキャリアの影響 | MOCVD CHEMKIN rapid rotation reactor | S-35 | 587 | |
L305 | 選択成長プロファイル解析によるInP,InAs-MOVPE成長の速度論 | InP/InAs-MOVPE Selective area growth Kinetics | S-35 | 687 | |
L306 | MOVPEにおける表面反応速度と表面原子構造の関係 | MOVPE surface reaction rate surface reconstruction | S-35 | 820 | |
(11:00〜12:00) (座長 齊藤丈靖) | |||||
L307 | 大型CVD反応炉によるBNセラミックス合成 | Pyrolitic Boron Nitride CVD Crystal growth | S-35 | 337 | |
L308 | [展望講演] 4H-SiC用高速CVD炉の開発コンセプト | 4H-SiC homo-epitaxial growth Chemical vapor deposition High-rate growth | S-35 | 424 | |
(13:00〜14:00) (座長 近藤英一) | |||||
L313 | パルスインジェクション方式による高品質 GaNの低温MOVPE成長 | Pulse injection method GaN MOVPE | S-35 | 755 | |
L314 | パルスインジェクションを用いたInPの選択MOVPE成長における端面異常成長の抑制 | abnormal growth Pulse Injection SA-MOVPE | S-35 | 387 | |
L315 | チタン酸ストロンチウム薄膜のエピタキシャル成長条件 | CVD Epitaxial Growth Strontium Titanate | S-35 | 147 | |
(14:00〜15:00) (座長 伊原 学) | |||||
L316 | パルス放電プラズマによるTiO2の部分還元およびその特性評価 | partial reduction TiO2 plasma | S-35 | 960 | |
L317 | TiO2中空粒子へのPLD法による金属担持 | TiO2 hollow particle PLD metal support | S-35 | 982 | |
L318 | 超臨界二酸化炭素流体を利用したTi酸化物薄膜の段差被覆成膜 | supercritical carbon dioxide thin film titanium oxide | S-35 | 499 | |
(15:00〜16:00) (座長 秋山泰伸) | |||||
L319 | 超臨界流体を用いたULSI微細孔へのCu埋め込み | Gap-filling Supercritical Fluid Cu | S-35 | 848 | |
L320 | 酸化還元を利用したULSI-Cu配線形成用CVDプロセスの速度論 | CVD step coverage Cu oxide | S-35 | 452 | |
L321 | 熱フィラメント水素ラジカルソースによるCu薄膜改質 | hot filament hydrongen radial cu thin films | S-35 | 967 |