講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
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シンポジウム <CVD・ドライプロセス> | |||||
(9:00〜10:00) (座長 野田 優) | |||||
L201 | LPI法を用いたBTXからのカーボンナノファイバーの高効率製造 | Carbon nanofibers Liquid pulse injection technique BTX | S-35 | 495 | |
L202 | 詳細な化学反応スキームとCFDとのカップリングによる熱分解炭素CVDの数値シミュレーション | CVD CFD carbon | S-35 | 995 | |
L203 | 熱分解炭素CVDにおける反応器内半径方向ガス組成分布の赤外分光分析 | pyrocarbon CVD infrared absorption | S-35 | 445 | |
(10:00〜11:00) (座長 河瀬元明) | |||||
L204 | 目的に応じた単層カーボンナノチューブの合成 | single-walled carbon nanotubes customized synthesis combinatorial method | S-35 | 588 | |
L205 | 単層カーボンナノチューブ垂直配向成長と触媒ナノ粒子の粗大化・失活 | single-walled carbon nanotubes rapid growth catalyst deactivation | S-35 | 598 | |
L206 | 大気圧プラズマによるダメージフリーCVDの構築と垂直配向単層カーボンナノチューブ合成への展開 | Atmospheric pressure non-thermal plasma Single-walled carbon nanotubes Ion damage | S-35 | 23 | |
(11:00〜12:00) (座長 野崎智洋) | |||||
L207 | 非平衡COプラズマを用いたダイヤモンド薄膜の低温合成 | plasma CVD diamond thin film low temperature synthesis | S-35 | 174 | |
L208 | プラズマエッチングにおけるイオンエネルギー分布解析 | Plasma Etching Ion Energy Distribution Reactive Ion Etching | S-35 | 511 | |
L209 | 試験構造基板を利用したC5F8/O2/Arプラズマ反応のメカニズム解析 | plasma CVD Dry Etching Reaction Kinetics | S-35 | 453 | |
(13:00〜14:20) (座長 杉山正和) | |||||
L213 | [展望講演] 近接場光を用いたCVDによるナノ加工とその応用 | Optical Near-Fields Photo-CVD Photochemical Reaction | S-35 | 178 | |
L215 | アルゴン-水素アークによるSn-Ag合金からの選択的蒸発促進機構の検討 | DC arc Vaporization Enhancement Sn-Ag alloy | S-35 | 624 | |
L216 | スキャニングアニールによるナノ粒子FeSi2/Si複合薄膜の作製とそのナノ構造 | Iron Silicide Zone Melting Crystallization Nano-particle | S-35 | 987 | |
(14:20〜15:20) (座長 霜垣幸浩) | |||||
L217 | 薄膜ZMC法によるFeSi2薄膜の作製と温度による結晶相の制御 | solar cell Iron silicide crystallization | S-35 | 991 | |
L218 | W/Oエマルジョンの燃料過濃燃焼によるNi超微粒子の製造 | nano particle W/O emulsion combustion | S-35 | 653 | |
L219 | 固体間発熱現象を利用したTiO2ナノ粒子のフラッシュ合成 | nanofabrication solid state reaction oxide materials | S-35 | 781 |