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化学工学会 第39回秋季大会

講演プログラム(会場・日程別)


L会場 第2日

最終更新日時:2007-07-24 09:36:53
講演
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講演
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番号
シンポジウム <CVD・ドライプロセス>
(9:00〜10:00) (座長 野田 優)
9:009:20L201LPI法を用いたBTXからのカーボンナノファイバーの高効率製造
(京大院工) ○(学)久松 治板倉 啓(正)田門 肇(北大工) (正)向井 紳
Carbon nanofibers
Liquid pulse injection technique
BTX
S-35495
9:209:40L202詳細な化学反応スキームとCFDとのカップリングによる熱分解炭素CVDの数値シミュレーション
(北大エネセン) ○(学)三枝 直路(正)則永 行庸(正)林 潤一郎
CVD
CFD
carbon
S-35995
9:4010:00L203熱分解炭素CVDにおける反応器内半径方向ガス組成分布の赤外分光分析
(京大工) ○(正)河瀬 元明(学)山本 剛紀(正)三浦 孝一
pyrocarbon
CVD
infrared absorption
S-35445
(10:00〜11:00) (座長 河瀬元明)
10:0010:20L204目的に応じた単層カーボンナノチューブの合成
(東大院工) ○(正)野田 優(学)長谷川 馨(学)杉目 恒志(学)筧 和憲丸山 茂夫(正)山口 由岐夫
single-walled carbon nanotubes
customized synthesis
combinatorial method
S-35588
10:2010:40L205単層カーボンナノチューブ垂直配向成長と触媒ナノ粒子の粗大化・失活
(東大院工) ○(学)諸隈 慎吾(学)長谷川 馨(正)野田 優丸山 茂夫(正)山口 由岐夫
single-walled carbon nanotubes
rapid growth
catalyst deactivation
S-35598
10:4011:00L206大気圧プラズマによるダメージフリーCVDの構築と垂直配向単層カーボンナノチューブ合成への展開
(東工大院) ○(正)野崎 智洋(東工大) 大西 空摩(東工大院) (正)岡崎 健
Atmospheric pressure non-thermal plasma
Single-walled carbon nanotubes
Ion damage
S-3523
(11:00〜12:00) (座長 野崎智洋)
11:0011:20L207非平衡COプラズマを用いたダイヤモンド薄膜の低温合成
(東工大院理工) ○(正)森 伸介(東工大) 服部 裕任(東工大院理工) (正)鈴木 正昭
plasma CVD
diamond thin film
low temperature synthesis
S-35174
11:2011:40L208プラズマエッチングにおけるイオンエネルギー分布解析
(東芝研究開発センター) ○(正)宇井 明生
Plasma Etching
Ion Energy Distribution
Reactive Ion Etching
S-35511
11:4012:00L209試験構造基板を利用したC5F8/O2/Arプラズマ反応のメカニズム解析
(東大院工) ○(学)関 淳志(正)霜垣 幸浩
plasma CVD
Dry Etching
Reaction Kinetics
S-35453
(13:00〜14:20) (座長 杉山正和)
13:0013:40L213[展望講演] 近接場光を用いたCVDによるナノ加工とその応用
(東大工) ○川添 忠
Optical Near-Fields
Photo-CVD
Photochemical Reaction
S-35178
13:4014:00L215アルゴン-水素アークによるSn-Ag合金からの選択的蒸発促進機構の検討
(東工大総理工) ○(学)田中 学(正)渡辺 隆行
DC arc
Vaporization Enhancement
Sn-Ag alloy
S-35624
14:0014:20L216スキャニングアニールによるナノ粒子FeSi2/Si複合薄膜の作製とそのナノ構造
(東工大炭エネ研) ○(学)寺澤 真輔(学)井上 建(東工大分析支援セ) 源関 聡(東工大炭エネ研) (正)伊原 学
Iron Silicide
Zone Melting Crystallization
Nano-particle
S-35987
(14:20〜15:20) (座長 霜垣幸浩)
14:2014:40L217薄膜ZMC法によるFeSi2薄膜の作製と温度による結晶相の制御
(東工大炭エネ研) ○(学)井上 建(学)寺澤 真輔(正)伊原 学
solar cell
Iron silicide
crystallization
S-35991
14:4015:00L218W/Oエマルジョンの燃料過濃燃焼によるNi超微粒子の製造
(名大工) ○(学)川越 真吾(環境研) (正)小林 潤(名大工) (正)小林 信介(正)羽多野 重信(正)板谷 義紀(所属なし) (正)森 滋勝
nano particle
W/O emulsion
combustion
S-35653
15:0015:20L219固体間発熱現象を利用したTiO2ナノ粒子のフラッシュ合成
(北大) ○(学)北村 泰昭沖中 憲之(正)秋山 友宏
nanofabrication
solid state reaction
oxide materials
S-35781

講演プログラム
化学工学会 第39回秋季大会

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Most recent update: 2007-07-24 09:36:53
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