この分類でよく使われているキーワード
| 霜垣幸浩(東京大)，秋山泰伸(東海大) |
CVDやスパッタ，ドライエッチングなどの薄膜形成・微粒子合成，微細加工における反応メカニズムの理解を通じ，デバイス構造を形成し，機能を発現させる方法論について議論することを目的とします。光・電子デバイス，MEMS，マイクロリアクタなどの形成において，必要な薄膜の構造や機能を経験的にではなく，論理的に最適化するための方法論を議論します。単一会場でのシンポジウムとすることで参加者全員による活発な討議を期待します。
最終更新日時：2010-06-21 20:19:01
| この分類でよく使われ ているキーワード | キーワード | 受理件数 | |
|---|---|---|---|
| MOVPE | 4件 | | |
| GaAs | 2件 | | |
| nanoparticle | 2件 | | |
| carbon nanotubes | 2件 | | |
| deposition | 2件 | | |
| Zinc oxide | 2件 | | |
| ultrasonic spray pyrolysis | 2件 | | |
| thin film | 2件 | | |
| supercritical fluid | 2件 | | |
| synthesis | 1件 | | |
| 受理 番号 | 講演題目／発表者 | キーワード | 受理日時 |
|---|---|---|---|
| 5 | ULSI配線のキャップ層用新規原料とプラズマCVDによるSiCH膜 | Plasma Enhanced CVD low-k cap layer SiCH | 4/9 18:56:56 |
| 83 | [展望講演] デバイス開発・生産を目指したプラズマプロセス・装置開発 | プラズマCVD プラズマRIE 半導体デバイス | 4/20 20:17:02 |
| 96 | [展望講演] CVDプロセスの分子論的解明に向けて量子化学の果たす役割 | CVDプロセス 量子化学計算 窒化物半導体 | 4/21 12:18:55 |
| 176 | 無電解めっきによるMWCNT/ニッケル複合体の作製 | carbon nanotube electroless plating nickel | 4/23 16:19:24 |
| 183 | カーボンナノ粒子添加超音波噴霧熱分解法による燃料電池粒子材料の合成 | carbon nanopowder ultrasonic spray pyrolysis fuel cell | 4/23 17:17:20 |
| 189 | 非貴金属電極/保護絶縁膜による強誘電体の劣化抑制効果 | ferroelectric material pulsed laser deposition zinc oxide | 4/23 17:45:33 |
| 190 | 超臨界二酸化炭素中での金属酸化物薄膜形成における添加物効果 | supercritical carbon dioxide metal-oxide thin films device | 4/23 17:46:47 |
| 214 | 大型反応器でのGaAs選択MOVPE成長の解析と制御 | GaAs MOVPE large scale reactor | 4/24 14:30:46 |
| 234 | SCFDによるPd製膜における新規液体還元剤の開発 | SCFD liquid reducing agent palladium | 4/26 09:46:01 |
| 290 | ナノ細孔内での加水分解反応による金属，金属酸化物ナノ粒子の合成 | nanoreactor nanoparticle rapid heating | 4/26 18:53:03 |
| 291 | Siエピタキシャル高速成長向け反応モデル及び反応メカニズムの解析 | Si epitaxial Reaction mechanism Growth rate | 4/26 19:06:30 |
| 313 | プラズマCVD法を用いたカーボンナノファイバーの簡易領域選択合成プロセスの開発 | Plasma-enhanced CVD Carbon nanofiber Area-selective synthesis | 4/26 21:03:11 |
| 561 | 超臨界流体を用いた絶縁性下地上への金属膜形成と埋め込み特性評価 | Supercritical fluid Deposition Step coverage | 4/27 22:21:45 |
| 568 | 微小領域選択MOVPEを用いたSi上InGaAsの形状均一化に向けたSi表面状態とInAs成長の関係 | MOVPE heteroepitaxy InGaAs on Si | 4/27 22:49:26 |
| 601 | 超臨界流体を用いたSiO2製膜における埋め込み特性評価 | supercritical fluid deposition SiO2 | 4/28 09:51:06 |
| 610 | 減圧熱CVD法により作製した酸化亜鉛と二酸化スズ薄膜の電気特性 | LPCVD Zinc oxide Tin oxide | 4/28 10:28:55 |
| 630 | 成長領域狭窄化選択MOVPEによるSi上InGaAsの高横/縦比成長 | InGaAs MOVPE selctive area growth | 4/28 11:23:56 |
| 666 | カーボンナノ粒子添加噴霧熱分解法によるフェライトナノ粒子の合成 | synthesis ultrasonic spray pyrolysis ferrite | 4/28 12:36:45 |
| 794 | Microstructures and transparent conducting properties of self-organized networks of single-walled carbon nanotubes | carbon nanotubes self-organization transparent conducting properties | 4/28 16:05:46 |
| 797 | 単層カーボンナノチューブの気相合成と反応制御 | carbon nanotubes catalytic chemical vapor deposition gas-phase synthesis | 4/28 16:10:57 |
| 808 | 高原料効率GaAs-MOVPEにおける不純物濃度制御と太陽電池応用 | MOVPE photovoltaics GaAs | 4/28 16:36:10 |
| 819 | モノメチルシランを原料とするHotwire-CVDによるSiC製膜の反応シミュレーション | CVD Silicon carbide Simulation | 4/28 16:52:43 |
| 838 | ナノクラスターの気相堆積で形成される薄膜構造の評価 | cluster nanostructure thin film | 4/28 17:28:59 |
| 843 | 粒子原料導入プラズマCVD法によるナノ複合材料の合成 | thin film nanoparticle nonequilibrium plasma | 4/28 17:34:33 |
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