講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
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シンポジウム <CVD・ドライプロセス −構造・機能制御の反応工学−> | |||||
(10:00〜12:00) (座長 齊藤 丈靖・池田 圭) | |||||
D204 | Structure and electrochemical performance of rapidly deposited silicon-based porous films for lithium ion rechargeable batteries | physical vapor deposition porous silicon films lithium ion batteries | S-2 | 956 | |
D205 | モノメチルトリクロロシランを原料としたSiC-CVDプロセスにおける表面反応を考慮した素反応機構の構築 | SiC CVD reaction mechanism | S-2 | 637 | |
D206 | モノメチルトリクロロシランを原料としたSiC-CVDプロセスの総括反応モデルの検討 | SiC CVD Methyltrichlorosilane | S-2 | 436 | |
D207 | プラズマCVD法によるヘキサメチルジシロキサンと酸素からのシリカ成膜 | Plasma CVD HMDSO silica | S-2 | 835 | |
D208 | 赤色発光シリコン材料の気相合成と発光特性 | CVD nanoparticles photoluminescence | S-2 | 410 | |
D209 | 亜鉛還元法によるシリコン形態形成メカニズム | zinc reduction reaction silicon supersaturation | S-2 | 413 | |
(13:00〜14:20) (座長 下山 裕介・川上 雅人) | |||||
D213 | [展望講演] ナノマテリアルプロセッシングのための超臨界流体の利用 | Supercritical Nano Processing | S-2 | 885 | |
D215 | [招待講演] 超臨界流体を利用した化合物半導体太陽電池製造の低コスト化 | supercritical fluid selenization solar cells | S-2 | 351 | |
D216 | アルコール添加による超臨界流体を用いたTiO2膜形成 | Supercritical fluid deposition TiO$2$ alcohol | S-2 | 622 | |
(14:20〜15:40) (座長 河瀬 元明・筑根 敦弘) | |||||
D217 | [展望講演] MOCVDによる窒化物半導体の気相成長 | Nitride Semiconductors MOCVD Quantum Chemical Calculation | S-2 | 377 | |
D219 | GaN系MOVPEにおける成長速度・組成の解析と制御(1) | GaN MOVPE 反応解析 | S-2 | 855 | |
D220 | GaN系MOVPEにおける成長速度・組成の解析と制御(2) | GaN MOVPE 反応解析 | S-2 | 931 |