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化学工学会 第45回秋季大会

講演プログラム(会場・日程別)

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D 会場・第 2 日

最終更新日時:2013-08-20 14:03:53
講演
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講演
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シンポジウム <CVD・ドライプロセス −構造・機能制御の反応工学−>
(10:00〜12:00) (座長 齊藤 丈靖・池田 圭)
10:0010:20D204Structure and electrochemical performance of rapidly deposited silicon-based porous films for lithium ion rechargeable batteries
(東大院工) ○(学)李 重昊(住友化学) 松本 慎吾中根 堅次(早大先進理工) (正)野田 優
physical vapor deposition
porous silicon films
lithium ion batteries
S-2956
10:2010:40D205モノメチルトリクロロシランを原料としたSiC-CVDプロセスにおける表面反応を考慮した素反応機構の構築
(東大院工) ○(学)佐藤 登(学)舩門 佑一(学)福島 康之(学)杉浦 秀俊(IHI基盤研) 保戸塚 梢(東大院工) (正)百瀬 健越 光男(東大院工) (正)霜垣 幸浩
SiC
CVD
reaction mechanism
S-2637
10:4011:00D206モノメチルトリクロロシランを原料としたSiC-CVDプロセスの総括反応モデルの検討
(東大院工) ○(学)福島 康之(学)佐藤 登(学)舩門 佑一(学)杉浦 秀俊(IHI基盤研) 保戸塚 梢(東大院工) (正)百瀬 健(正)霜垣 幸浩
SiC
CVD
Methyltrichlorosilane
S-2436
11:0011:20D207プラズマCVD法によるヘキサメチルジシロキサンと酸素からのシリカ成膜
(京大工) ○(学)竹田 依加(学)永冶 渉(学)高橋 諒(正)河瀬 元明
Plasma CVD
HMDSO
silica
S-2835
11:2011:40D208赤色発光シリコン材料の気相合成と発光特性
(東大院工) ○(学)大武 秀稔(農工大院BASE) (正)稲澤 晋(東大環安セ/東大院工) (正)辻 佳子(東大院工) (正)山口 由岐夫
CVD
nanoparticles
photoluminescence
S-2410
11:4012:00D209亜鉛還元法によるシリコン形態形成メカニズム
(東大院工) ○(学)小野 大和(農工大院BASE) (正)稲澤 晋(東大環安セ/東大院工) (正)辻 佳子(東大院工) (正)山口 由岐夫
zinc reduction reaction
silicon
supersaturation
S-2413
(13:00〜14:20) (座長 下山 裕介・川上 雅人)
13:0013:40D213[展望講演] ナノマテリアルプロセッシングのための超臨界流体の利用
(東北大) ○(正)阿尻 雅文
Supercritical
Nano
Processing
S-2885
13:4014:00D215[招待講演] 超臨界流体を利用した化合物半導体太陽電池製造の低コスト化
(東北大多元研) ○(正)笘居 高明(正)本間 格
supercritical fluid
selenization
solar cells
S-2351
14:0014:20D216アルコール添加による超臨界流体を用いたTiO2膜形成
(東大院工) ○(学)趙 ユウ(学)鄭 珪捧(正)百瀬 健(正)霜垣 幸浩
Supercritical fluid deposition
TiO$2$
alcohol
S-2622
(14:20〜15:40) (座長 河瀬 元明・筑根 敦弘)
14:2015:00D217[展望講演] MOCVDによる窒化物半導体の気相成長
(大陽日酸) ○松本 功
Nitride Semiconductors
MOCVD
Quantum Chemical Calculation
S-2377
15:0015:20D219GaN系MOVPEにおける成長速度・組成の解析と制御(1)
(東大院工) ○(正)百瀬 健神谷 達也(正)杉山 正和(正)霜垣 幸浩
GaN
MOVPE
反応解析
S-2855
15:2015:40D220GaN系MOVPEにおける成長速度・組成の解析と制御(2)
(ミラノ工大) ○Ravasio Stefano Valerio(東大院工) (正)百瀬 健藤井 克司(正)霜垣 幸浩(ミラノ工大) Carlo Cavallotti(東大院工) (正)杉山 正和
GaN
MOVPE
反応解析
S-2931

講演発表プログラム
化学工学会 第45回秋季大会

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Most recent update: 2013-08-20 14:03:53
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