この分類でよく使われているキーワード
| 河瀬元明（京都大）・三浦 豊（アルバック）・三宅雅人（奈良先端大） |
CVDをはじめとするドライプロセスは，エレクトロニクス，太陽電池，MEMS，機能性コーティング等の分野において，基幹技術となっている。本シンポジウムでは，CVDと類縁技術を利用した薄膜形成，微粒子合成，微細加工における製品の構造と機能を制御するために，反応メカニズムの理解による論理的な最適化を目指し議論することを目的とします。なお，優秀な発表をされた若手研究者には，CVD反応分科会奨励賞を贈呈します。
最終更新日時：2014-08-04 11:49:01
| この分類でよく使われ ているキーワード | キーワード | 受理件数 | |
|---|---|---|---|
| CVD | 7件 | | |
| SiC | 4件 | | |
| methyltrichlorosilane | 2件 | | |
| conductive oxide | 1件 | | |
| 受理 番号 | 講演題目／発表者 | キーワード | 受理日時 |
|---|---|---|---|
| 147 | [展望講演] ヘテロ接合デバイスとしてのCIS系薄膜太陽電池技術の現状と将来展望 | CVD CIS thin film solar cell Heterojunction device | 5/8 11:28:39 |
| 148 | [招待講演] 熱CVD法を用いた水平管型反応器内のTiN 薄膜生成過程における熱物質移動解析 | CVD Titanium nitride Heat and mass transfer | 5/8 11:29:43 |
| 149 | [展望講演] 可溶化カーボンナノチューブを用いた先端ナノ材料開発 | CVD Advanced nanomaterial Carbon nanotube | 5/8 11:32:21 |
| 161 | 超臨界流体反応を用いて作製した太陽電池用Cu2ZnSn(S,Se)4薄膜の構造特性評価 | supercritical fluid solar cell CZTS thin film | 5/8 13:53:38 |
| 268 | SiC-CVDにおける有機シラン原料の比較検討 | SiC CVD Chlorosilane | 5/9 14:40:00 |
| 285 | モノメチルトリクロロシランを原料としたSiC-CVIプロセス最適化のための反応炉スケールシミュレーション | CVI SiC Methyltrichlorosilane | 5/9 15:46:01 |
| 290 | 172nmVUVによるチタン表面の改質とMPCポリマーコーティング | VUV Titan MPC polymer | 5/9 15:57:37 |
| 291 | 超臨界流体堆積法を用いた量論組成Bi4Ti3O12製膜 | Bi4Ti3O12 supercritical fluid deposition stoichiometric | 5/9 15:57:52 |
| 312 | モノメチルトリクロロシランを原料としたSiC-CVDプロセスにおける圧力依存性を 考慮した素反応機構の構築 | SiC CVD reaction mechanism | 5/9 17:17:08 |
| 345 | 気固原料PECVDによるナノ複合膜の合成制御と光触媒活性評価 | thin film nanoparticle composite material | 5/9 19:19:58 |
| 386 | ホットワイヤALDによるRu薄膜: 成長特性、組成、および構造特性 | Atomic layer deposition Hot wire non-oxidization ambient | 5/10 12:47:18 |
| 387 | モノメチルトリクロロシランを用いたSiC-CVDプロセスにおける製膜種付着確率の詳細解析(2) | CVD SiC methyltrichlorosilane | 5/10 12:49:49 |
| 395 | プラズマCVDによるシリコン高速製膜の均一化 | プラズマCVD 高速製膜 シリコン | 5/10 14:13:13 |
| 754 | プラズマCVD法で作製したシリカ膜構造へのキャリアガスの影響 | Plasma CVD HMDSO silica | 5/12 17:39:23 |
| 816 | 導電性酸化物電極を用いた強誘電体キャパシタの作製と劣化機構 | ferroelectric capacitor conductive oxide degradation mechanism | 5/12 18:33:39 |
| 907 | 常温オゾンCVD法によるリチウムイオン電池用SiOC負極の作製 | Li-ion batteries SiOC CVD | 5/12 20:19:41 |
| 971 | PLD法による強誘電体薄膜の配向性制御と電気特性 | ferroelectric material pulsed laser deposition orientation control | 5/12 21:44:40 |
| 999 | ホローカソード放電によるカーボンナノファイバーの無触媒合成 | Plasma-enhanced CVD Carbon Nanofiber Non-catalytic synthesis | 5/12 23:03:52 |
(C) 2014 公益社団法人化学工学会 The Society of Chemical Engineers, Japan. All rights reserved.
www3.scej.org
easp 2.34; update.pl 2.33 (C)1999-2013 kawase