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化学工学会 第82年会 (東京 2017)

K-2. [CR,SF,MI] CVDの反応工学:iCVDなどの新プロセス、応用展開と基礎的理解<公募なし>

オーガナイザー: 町田 英明(気相成長(株))・百瀬 健(東京大学)・野田 優(早稲田大学)

アジア国際賞を受賞された韓国KAISTのSung Gap Im先生をお招きし、iCVD (initiated chemical vapor deposition)法による高分子極薄膜の低温・均一製膜と、エレクトロニクス・生体医療などへの新展開をご講演頂きます。また、CVDプロセスの反応工学的解析と、その理解に基づいた合理的なプロセスの設計と開発、更には先端材料・デバイスへの展開を議論します。


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化学工学会 第82年会 (東京 2017)

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Most recent update: 2016-12-15 11:25:36
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