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化学工学会 姫路大会2019

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5) 反応工学

5-h. CVD・ドライプロセス

最終更新日時:2020-10-28 18:39:01

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perovskite1件

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講演題目/発表者キーワード発表形式
15ベンゼンからの熱分解炭素CVD速度に水蒸気が及ぼす効果
(京大工) (学)○南 遼河(学)牧野 優作(学)松田 萌(正)河瀬 元明
CVD
Carbon
Steam
O
38ヨウ化鉛メチルアンモニウムペロブスカイト薄膜の新規気相成長プロセス開発
(京大工) (学)○松田 萌(学)村上 誉紀(学)松村 南月(正)河瀬 元明
CVD
perovskite
methylammonium lead iodide
O
134プラズマCVD法を用いて作製したシリカ系ガスバリア膜に加わる残留応力低減方法の検討
(京大) (学)○平田 桑一朗(学)田中 茉莉亜(学)脇坂 知樹(正)河瀬 元明
gas barrier film
silica
cvd
O

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