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化学工学会 第78年会 (大阪, 2013)

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11) エレクトロニクス

11-c. 微細加工技術(エッチング、薄膜形成、等)

最終更新日時:2013-02-12 18:58:58

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laser ablation1件
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受理
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講演題目/発表者キーワード受理日時
535 レーザーアブレーションによる透明基板上へのカー ボン薄膜の堆積
(金沢大理工) ○(学)澤田 和弥(学)大内 康久(正)瀬戸 章文(正)大谷 吉生(産総研) (正)平澤 誠一
laser ablation
carbon
transparent film
12/10
16:16:12

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化学工学会 第78年会 (大阪, 2013)

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