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化学工学会 第90年会 (東京)

講演プログラム検索結果 : トリメチルアルミニウム : 2件

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講演題目 が『トリメチルアルミニウム』を含む講演：2件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 3 日
13:20～ 13:40		J314アルミニウム層成長によるトリメチルアルミニウムと水素の気相反応に関する密度汎関数理論研究
Aluminum deposition
Density functional theory
MOCVD
5-h247
第 3 日
15:20～ 15:40		J320ニューラルネットワークポテンシャルを用いたトリメチルアルミニウムの吸着状況の解析
(U. Tokyo) ○(学)Wu Yuxuan・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
ALD
CVD
Surface Adsorption
5-h263
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