English page
SCEJ

化学工学会 第89年会 (堺)

講演プログラム検索結果 : 杉目 恒志 : 1件

プログラム一覧で黄色背景のセッションがライブ配信併用です。
講演要旨は講演番号をクリックすると閲覧できます。
(有料参加登録者およびご招待者に3/16にお知らせしたID/PWが必要です。)

司会・座長氏名 が『杉目 恒志』と一致するセッション：1件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 3 日
10:40～ 12:00		   座長 杉目 恒志・清水 秀治
G306反射光強度その場観察を利用した下地選択Co-ALDプロセスの検討
(東大院工) ○(学)木村 俊介・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)百瀬 健・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
ALD
in-situ observation
reflectance
5-h232
G307ポリマー上におけるCu連続膜形成プロセスの検討
(東大院工) ○(学)中嶋 佑介・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
Atomic Layer Depoition
Copper
on Polymer
5-h531
G308キセノンエキシマランプを使用したVUV-Redox法による銅表面の活性化
(阪公大院工) ○(正)遠藤 真一・ (正)齊藤 丈靖
VUV-Redo
Surface activation
5-h786
G309CFDシミュレーションによるAlN化合物単結晶成長影響要因の検討
(京大院工) ○(学)李 亜飛・ 村橋 孝亮・ (正)河瀬 元明
MOCVD
CFD
III-V compound
5-h683

講演発表プログラム
講演プログラム一覧(横長)  (同 縦長表示)
セッション一覧
講演プログラムの検索
化学工学会 第89年会 (堺)

(C) 2024 公益社団法人化学工学会 The Society of Chemical Engineers, Japan. All rights reserved.
For more information contact 化学工学会 第89年会 実行委員会
E-mail: inquiry-89awww4.scej.org