講演
時刻 | 講演
番号 | 講演題目／発表者 | キーワード | 分類
番号 | 受理
番号 |
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| 5. 反応工学 |
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| オーガナイズドセッション(反応工学部会CVD反応分科会) |
| (9:00～10:40) (座長 齊藤 丈靖) |
| 9:00～ 9:20 | G301 | ALD用トリメチルアルミニウムの物理吸着の定量分析
| Atomic Layer Depositon
Quartz Crystal Microbalance
Surface Adsorption
| 5-h | 383 |
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| 9:20～ 9:40 | G302 | 原子層堆積法を用いたZrN薄膜形成プロセスの検討
| ZrN
ALD
TEMAZ
| 5-h | 273 |
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| 9:40～ 10:00 | G303 | 次世代ULSI配線用Moの原子層成長プロセス開発
| Molybdenum
ALD
low resistivity
| 5-h | 123 |
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| 10:00～ 10:20 | G304 | ヒドラジンを用いた原子層堆積法によるシリコン窒化膜評価
| Siicon Nitride
Atomic Layer Deposition
Incubation Cycle
| 5-h | 109 |
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| 10:20～ 10:40 | G305 | Co薄膜熱原子層エッチングプロセスの検討
| ALE
atomic layer eching
cobalt
| 5-h | 516 |
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| (10:40～12:00) (座長 杉目 恒志・清水 秀治) |
| 10:40～ 11:00 | G306 | 反射光強度その場観察を利用した下地選択Co-ALDプロセスの検討
| ALD
in-situ observation
reflectance
| 5-h | 232 |
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| 11:00～ 11:20 | G307 | ポリマー上におけるCu連続膜形成プロセスの検討
| Atomic Layer Depoition
Copper
on Polymer
| 5-h | 531 |
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| 11:20～ 11:40 | G308 | キセノンエキシマランプを使用したVUV-Redox法による銅表面の活性化
| VUV-Redo
Surface activation
| 5-h | 786 |
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| 11:40～ 12:00 | G309 | CFDシミュレーションによるAlN化合物単結晶成長影響要因の検討
| MOCVD
CFD
III-V compound
| 5-h | 683 |
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| 12:00～ 12:20 | CVD反応分科会奨励賞授賞式
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| 4. 分離プロセス |
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| (13:00～13:40) (座長 立元 雄治) |
| 13:00～ 13:20 | G313 | 竪型薄膜式多重効用缶による省エネ効果
| Energy saving
Multiple-effect evaporator
Thin film evaporation
| 4-c | 213 |
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| 13:20～ 13:40 | G314 | [注目講演] 旋回流を利用した鉄さび粒子捕捉デバイスの開発
| Iron oxide
Swirl flow
Circulating water
| 4-b | 42 |
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| (13:40～14:40) (座長 橋本 一輝) |
| 13:40～ 14:00 | G315 | 加圧浮上法による除去土壌の改質処理
| radioactive contaminated soil
pressurized flotation method
| 4-i | 160 |
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| 14:00～ 14:20 | G316 | 油中劣化物に対する粒状吸着剤の吸着特性評価
| Adsorption
Degraded oil
| 4-e | 713 |
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| 14:20～ 14:40 | G317 | [注目講演] 新規三脚型アミド系抽出剤を用いたテクネチウム(VII)とレニウム(VII) の革新的溶媒抽出
| technetium
rhenium
solvent extraction
| 4-f | 419 |
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| (15:00～16:00) (座長 下条 晃司郎) |
| 15:00～ 15:20 | G319 | ベンゼンをエントレーナーとする共沸蒸留を用いたエタノール脱水プロセスのシミュレーション
| process simulation
azeotropic distillation
three phase distillation
| 4-c | 2 |
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| 15:20～ 15:40 | G320 | 充填塔におけるHETPの推算
| Packed column
efficiency
HETP
| 4-c | 699 |
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| 15:40～ 16:00 | G321 | 充填式蒸留塔の HETP の局所的挙動の相関モデリング
| Packed Distillation Column
HETP
Control Volume Model
| 4-c | 1 |
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| (16:00～16:40) (座長 稲澤 晋) |
| 16:00～ 16:20 | G322 | 近赤外分光分析を用いた高速撹拌乾燥挙動に及ぼす操作条件の影響調査
| Drying
NIR
Agitation
| 4-h | 38 |
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| 16:20～ 16:40 | G323 | 石炭中水分形態が水分蒸発挙動に及ぼす影響
| forms of water
water desorption
coal
| 4-h | 110 |
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