講演題目 が『エピタキシー』を含む講演:1件該当しました。
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講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
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第 3 日 | PE340 | 単結晶Si基板への多孔質層形成、単結晶Si膜の急速エピタキシーと機械的剥離 | Monocrystalline Si film Rapid vapor deposition Porous Si | 5-h | 65 |
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化学工学会 第89年会 (堺)