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化学工学会 第89年会 (堺)

講演プログラム検索結果 : ALD : 3件

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キーワード が『ALD』と一致する講演：3件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 3 日
9:20～ 9:40		G302原子層堆積法を用いたZrN薄膜形成プロセスの検討
(東大院工) ○(学)田中 潤・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
ZrN
ALD
TEMAZ
5-h273
第 3 日
9:40～ 10:00		G303次世代ULSI配線用Moの原子層成長プロセス開発
(東大院工) ○(学)小原 聡顕・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
Molybdenum
ALD
low resistivity
5-h123
第 3 日
10:40～ 11:00		G306反射光強度その場観察を利用した下地選択Co-ALDプロセスの検討
(東大院工) ○(学)木村 俊介・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)百瀬 健・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
ALD
in-situ observation
reflectance
5-h232
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化学工学会 第89年会 (堺)

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