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化学工学会 第54回秋季大会 (福岡)

講演プログラム検索結果 : 羽深 等 : 4件

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発表者または座長 が『羽深 等』と一致する講演：2件該当しました。
司会・座長氏名 が『羽深 等』と一致するセッション：2件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。また、フラッシュ付きポスターの場合、フラッシュとポスターの２件となります。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
15:00～ 15:20		S119SiCxNyOzの室温プラズマCVD製膜における前駆体の相互作用
(横国大) 川上 広樹・ 堀 健太・ 渡部 亨・ ○(正)羽深 等
SiCNO
PECVD
Interaction
ST-2494
第 1 日
15:00～ 17:00		   座長 島田 学・羽深 等
S119SiCxNyOzの室温プラズマCVD製膜における前駆体の相互作用
(横国大) 川上 広樹・ 堀 健太・ 渡部 亨・ ○(正)羽深 等
SiCNO
PECVD
Interaction
ST-2494
S1203次元集積回路用AlN薄膜の低温CVDプロセス開発
(東大院工) ○(学)小原 聡顕・ 二宮 健生・ 高木 剛・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
AlN film
chemical vapor deposition
low temperature
ST-24229
S121ホウ素と水蒸気を用いた気体ホウ素源供給と鋳型法による窒化ホウ素ナノチューブの合成
(早大先進理工) ○(学·技基)甲斐田 敬済・ 髙橋 宏夢・ (早大理工総研) (正)李 墨宸・ (早大ナノライフ) (正)大沢 利男・ (早大先進理工) (正)野田 優
Boron Nitride Nanotube (BNNT)
Template coating method
Boron oxide
ST-24168
S122超臨界流体薄膜堆積法によるポリマー上への低抵抗率銅薄膜形成プロセスの開発
(東大院工) ○(学)中嶋 佑介・ (正)霜垣 幸浩・ (東大院工/熊大半導体) (正)百瀬 健
SCFD
Polymer
resistivity
ST-24304
S123臭素蒸気を用いたカーボンナノチューブの低損傷乾式精製法の開発
(早大先進理工) ○(学·技基)後藤 拓磨・ (早大ナノライフ) (正)大沢 利男・ (早大先進理工) (正)野田 優
Carbon nanotube
Purification
Bromine vapor
ST-24344
S124水晶振動子によるトリメチルアルミニウムの吸着状態のその場測定
(U. Tokyo) ○(学)Wu Yuxuan・ (学)Liu Haonan・ (正)Yamaguchi Jun・ (正)Sato Noboru・ (正)Tsukune Atsuhiro・ (正)Momose Takeshi・ (正)Shimogaki Yukihiro
ALD
QCM
Adsorption
ST-24705
第 2 日
9:40～ 10:00		C203バッチ式洗浄におけるウエハ浸漬・取出時の付着汚れの動き
(横国大) 土田 透子・ ○(正)羽深 等・ (プレテック) 後藤 昭広
Wafer cleaning
Wafer operation
Betch-type cleaner
SY-7795
第 2 日
13:40～ 15:40		   座長 羽深 等
C215[展望講演] 感動を生み出すためのハプティクス技術とその未来
(ソニー) 中川 佑輔
Haptics technology
SY-77224
C217[招待講演] ペロブスカイト太陽電池の現状と可能性
(産総研) 古郷 敦史
Perovskite Solar Cells
SY-77113
C218アルカリ水溶液中に分散したグラフェンに対する電気化学反応の考察
(阪公大工) ○(正)岡本 尚樹・ 三宅 怜・ (正)齊藤 丈靖
Graphene
Electrochemical Reaction
SY-77835
C219電析法で作製したZnSへの電気化学的Cuドーピングの検討
(阪公大工) ○(正)岡本 尚樹・ 松田 直大・ (正)齊藤 丈靖
electrodeposition
ZnS
Cu
SY-77848
C220金型製造プロセスにおけるNi電鋳の欠陥低減の検討
(阪公大工) ○(学)溝畑 凌生・ (正)岡本 尚樹・ (正)齊藤 丈靖・ (パリティ・イノベーションズ) 前田 有希・ 前川 聡
electroforming
Ni
mold manufacturing process
SY-77867

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