Last modified: 2023-12-10 19:09:26
講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
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ST-24 [部会横断型シンポジウム] CVD/ALD・ドライプロセス -構造・機能制御の反応工学- | |||||
(9:00~10:20) (座長 | |||||
S201 | 反射光強度変化を利用したCo製膜初期過程の観測 | cobalt ALD reflectance | ST-24 | 895 | |
S202 | Morphology Improvement of Chemical Vapor Deposited Bismuth-based Perovskite Thin Film for Photovoltaic Use | Chemical vapor deposition Methylammonium bismuth iodide Molten bismuth | ST-24 | 425 | |
S203 | 不飽和度の異なる炭化水素種からのコーク生成速度の解析 | coking CVD Carbon | ST-24 | 255 | |
S204 | 化学気相成長法によるシリコン-炭素複合材料の作製とリチウムイオン電池負極への応用 | Chemical Vapor Deposition (CVD) Silicon Lithium-ion battery | ST-24 | 76 | |
休憩 | |||||
(10:40~11:50) (座長 | |||||
S206 | MTS/H2を用いたSiC-CVIへのSiCl4添加効果の詳細検討 | SiC CVI MTS | ST-24 | 862 | |
S207 | SiC-CVI法における高濃度水素供給を利用した高速含浸条件の検討 | SiC CVI CVD | ST-24 | 843 | |
S208 | [招待講演] SiCパワーデバイスの高性能化に向けたエピタキシャル成長技術の開発 | Silicon carbide Power device Epitaxial growth | ST-24 | 518 | |
(13:00~14:20) (座長 | |||||
S213 | [展望講演] 化学蒸着法を用いた切削工具用硬質膜の現状と展望 | CVD Cutting tool Hard coating | ST-24 | 150 | |
S215 | DFT study on reaction paths of AlN growth by MOCVD | DFT AlN MOCVD | ST-24 | 423 | |
S216 | 金属錯体蒸気圧予測のためのCOSMO-SAC法の改良 | COSMO-SAC metal complex vapor pressure | ST-24 | 824 | |
(14:20~15:50) (座長 | |||||
S217 | Photocatalytic Performance Evaluation of TiO2 and TiO2-CuO Nanoparticulate Thin Films Prepared by a Gas Phase System | PECVD PVD TiO2-CuO heterojunction | ST-24 | 778 | |
S218 | モデル触媒構造を用いた可視光応答型CuOx/TiO2光触媒反応機構の検討 | photocatalyst visible light reaction mechanism | ST-24 | 926 | |
S219 | 反応性スパッタリングによるMAX合金薄膜形成と物性評価 | sputtering MAX-phase | ST-24 | 876 | |
S220 | [招待講演] スパッタだからできる薄膜の結晶性・モフォロジー制御 | sputtering thin film morphology control | ST-24 | 783 | |
(15:50~16:20) | |||||
閉会の挨拶、分科会幹事会 |
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