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化学工学会 第54回秋季大会 (福岡)

講演プログラム検索結果 : Sato Noboru : 7件

講演番号先頭がPの講演はポスター講演、それ以外の講演は口頭講演です。
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発表者または座長 が『Sato Noboru』と一致する講演：7件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。また、フラッシュ付きポスターの場合、フラッシュとポスターの２件となります。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
14:00～ 14:20		S116次世代ULSI配線用モリブデン原子層成長プロセスの開発
ALD
Molybdenum
interconnect
ST-24845
第 1 日
14:20～ 14:40		S117Co-ALDによる選択成長プロセスの検討
(東大院工) ○(正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)百瀬 健・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
cobalt
ALD
selective deposition
ST-24837
第 1 日
16:40～ 17:00		S124水晶振動子によるトリメチルアルミニウムの吸着状態のその場測定
(U. Tokyo) ○(学)Wu Yuxuan・ (学)Liu Haonan・ (正)Yamaguchi Jun・ (正)Sato Noboru・ (正)Tsukune Atsuhiro・ (正)Momose Takeshi・ (正)Shimogaki Yukihiro
ALD
QCM
Adsorption
ST-24705
第 2 日
9:00～ 9:20		S201反射光強度変化を利用したCo製膜初期過程の観測
(東大院工) ○(学)木村 俊介・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)百瀬 健・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
cobalt
ALD
reflectance
ST-24895
第 2 日
10:40～ 11:00		S206MTS/H2を用いたSiC-CVIへのSiCl4添加効果の詳細検討
SiC
CVI
MTS
ST-24862
第 2 日
11:00～ 11:20		S207SiC-CVI法における高濃度水素供給を利用した高速含浸条件の検討
SiC
CVI
CVD
ST-24843
第 2 日
14:00～ 14:20		S216金属錯体蒸気圧予測のためのCOSMO-SAC法の改良
(東大院工) ○(正)佐藤 登・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
COSMO-SAC
metal complex
vapor pressure
ST-24824

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