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化学工学会 第54回秋季大会 (福岡)

講演プログラム検索結果 : 製膜 : 2件

講演番号先頭がPの講演はポスター講演、それ以外の講演は口頭講演です。
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講演題目 が『製膜』を含む講演：2件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。また、フラッシュ付きポスターの場合、フラッシュとポスターの２件となります。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
15:00～ 15:20		S119SiCxNyOzの室温プラズマCVD製膜における前駆体の相互作用
SiCNO
PECVD
Interaction
ST-2494
第 2 日
9:00～ 9:20		S201反射光強度変化を利用したCo製膜初期過程の観測
(東大院工) ○(学)木村 俊介・ (正)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)百瀬 健・ (正)筑根 敦弘・ (正)霜垣 幸浩
cobalt
ALD
reflectance
ST-24895

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化学工学会 第54回秋季大会 (福岡)

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