羽深等 - 講演プログラム検索結果

`化学工学会第86年会`

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発表者または座長が『羽深等』と一致する講演：2件該当しました。
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講演時刻	講演番号	講演題目／発表者	キーワード	分類番号	受理番号
第 1 日 16:20～ 16:40	N123	4H-SiC ウエハエッチングにおける三フッ化塩素ガス分散構造の設計と検証 (横国大) 林優也・ ○(正)羽深等・ (関東電化) (法)高橋至直・ (産総研) 加藤智久	SiC Wafer etching CLF3 gas	11-c	43
第 3 日 15:00～ 15:20	K319	三塩化ホウ素ガスとジクロロシランガスによる S-B 膜形成 (横国大) 大谷真奈・室井光子・ ○(正)羽深等	Silicon-boron CVD BCL3	5-h	42

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化学工学会第86年会

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