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化学工学会 第86年会

講演プログラム検索結果 : plasma : 2件

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キーワード が『plasma』と一致する講演:2件該当しました。
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講演
時刻
講演
番号
講演題目/発表者キーワード分類
番号
受理
番号
第 1 日
13:2014:20
PA139HMDSOを主原料としたプラズマCVDによる製膜中発光分析
CVD
film
plasma
5-h24
第 3 日
9:4010:00
K303N2-H2プラズマ圧力スイング放電ガス吸排気周期との同期によるアンモニア合成
(東工大) ○(正)森 伸介(学)里 彰真
Plasma
Ammonia
Pressure swing
5-c608

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