キーワード が『plasma』と一致する講演:2件該当しました。
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講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
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第 1 日 | PA139 | HMDSOを主原料としたプラズマCVDによる製膜中の発光分析 | CVD film plasma | 5-h | 24 |
第 3 日 | K303 | N2-H2プラズマの圧力スイングと放電・ガス吸排気周期との同期によるアンモニア合成 | Plasma Ammonia Pressure swing | 5-c | 608 |
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化学工学会 第86年会