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化学工学会第88年会(東京)

講演プログラム検索結果 : 佐藤 登 : 3件

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発表者または座長 が『佐藤 登』と一致する講演：3件該当しました。
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講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
15:00～ 15:20		F119理論的検討に基づいたSiC-CVIプロセスにおける表面反応モデルの改良
(東大院工) ○(正)佐藤 登・ (学)木村 俊介・ (学)大高 雄平・ (東大工) 脇山 知也・ (IHI) (正)福島 康之・ (東大院工) (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
SiC
CVI
surface reaction model
5-h245
第 1 日
15:20～ 15:40		F120高下地選択性Co-ALDプロセス設計のための可視光反射率その場観察手法の構築
(東大院工) ○(学)木村 俊介・ (学)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
ALD
in-situ observation
reflectance
5-h597
第 1 日
16:00～ 16:20		F122密度汎関数法によるビス(2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナト)銅(II)の銅(111)表面への吸着に関する研究
(東大工) ○(学)Wu Yuxuan・ (正)佐藤 登・ (学)山口 潤・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
Atomic Layer Depositon
Density Function Theory
Surface Adsorption
5-h217

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