低抵抗率銅薄膜形成 - 講演プログラム検索結果

`化学工学会第88年会(東京)`

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講演題目が『低抵抗率銅薄膜形成』を含む講演：1件該当しました。
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講演時刻	講演番号	講演題目／発表者	キーワード	分類番号	受理番号
第 1 日 16:20～ 16:40	F123	超臨界流体薄膜堆積法を用いた誘電体上の低抵抗率銅薄膜形成に向けた前処理条件の検討 (東大院工) ○(学)中嶋佑介・ Huang Yuyuan・ (正)霜垣幸浩・ (正)百瀬健	SCFD Polymer resistivity	5-h	705

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化学工学会第88年会(東京)

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