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化学工学会第88年会(東京)

講演プログラム検索結果 : 霜垣 幸浩 : 4件

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発表者または座長 が『霜垣 幸浩』と一致する講演：4件該当しました。
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講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
15:00～ 15:20		F119理論的検討に基づいたSiC-CVIプロセスにおける表面反応モデルの改良
(東大院工) ○(正)佐藤 登・ (学)木村 俊介・ (学)大高 雄平・ (東大工) 脇山 知也・ (IHI) (正)福島 康之・ (東大院工) (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
SiC
CVI
surface reaction model
5-h245
第 1 日
15:20～ 15:40		F120高下地選択性Co-ALDプロセス設計のための可視光反射率その場観察手法の構築
(東大院工) ○(学)木村 俊介・ (学)山口 潤・ (正)佐藤 登・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
ALD
in-situ observation
reflectance
5-h597
第 1 日
16:00～ 16:20		F122密度汎関数法によるビス(2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナト)銅(II)の銅(111)表面への吸着に関する研究
(東大工) ○(学)Wu Yuxuan・ (正)佐藤 登・ (学)山口 潤・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
Atomic Layer Depositon
Density Function Theory
Surface Adsorption
5-h217
第 1 日
16:20～ 16:40		F123超臨界流体薄膜堆積法を用いた誘電体上の低抵抗率銅薄膜形成に向けた前処理条件の検討
(東大院工) ○(学)中嶋 佑介・ Huang Yuyuan・ (正)霜垣 幸浩・ (正)百瀬 健
SCFD
Polymer
resistivity
5-h705

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