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化学工学会第88年会(東京)

講演プログラム検索結果 : CVD : 4件

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キーワード が『CVD』と一致する講演：4件該当しました。
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講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
13:20～ 13:40		F114パラフィン、オレフィンからのコーク生成速度
(京大工) ○(学)仲野 真治・ (正)藤墳 大裕・ (正)河瀬 元明
fouling
coking
CVD
5-h528
第 1 日
13:40～ 14:00		F115トリエチルアルミニウムからのCVD法によるAlN薄膜の作製
(京大工) ○(学)村橋 孝亮・ (学)李 亜飛・ (正)河瀬 元明
CVD
triethylaluminum
AlN
5-h540
第 3 日
10:20～ 11:20		PD376MTS/H2を原料ガスとしたCVD反応炉のSiC成長簡略化機構による数値流体解析
(名大院工) ○(学)小川 達也・ 福本 一生・ (正)町田 洋・ (正)則永 行庸
CVD
MTS
CFD
5-h676
第 3 日
13:40～ 14:00		F315Fe触媒を用いたC2H2からのCCVD法による黒鉛の生成
(東洋炭素) ○(正)前田 博之・ 大國 友行・ (正)太田 直人・ (産総研) 曽根田 靖・ (正)畑中 健志
CVD
carbon
reaction mechanism
5-a187

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