Last modified: 2017-09-06 10:00:00
講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
---|---|---|---|---|---|
ST-26 [部会横断型シンポジウム] CVD・ドライプロセス ―デバイス構造・機能制御の反応工学― | |||||
(13:00~14:20) (座長 | |||||
BD113 | [展望講演] 最先端プラズマ科学に基づいたプロセス制御と未来産業への展望 | Plasma Deposition Etching | ST-26 | 770 | |
BD115 | シリカプラズマCVDにおける気相種の質量分析 | plasma CVD silica mass spectrometry | ST-26 | 618 | |
BD116 | ECR放電を用いたプラズマCVD法によるカーボンナノウォールの合成と並列化手法の検討 | carbon nanowalls plasma enhanced CVD | ST-26 | 875 | |
(14:20~15:20) (座長 | |||||
BD117 | 単層カーボンナノチューブの火炎合成:反応場・流れ場・触媒供給制御による高品質化 | single-wall carbon nanotubes flame synthesis reaction field control | ST-26 | 61 | |
BD118 | CVD法を用いたカーボンナノチューブ合成に対する硫黄の影響 | carbon nanotube sulfur chemical vapor deposition | ST-26 | 62 | |
BD119 | 導電性基板上での高密度カーボンナノチューブフォレストの低温成長技術の開発 | chemical vapor deposition low temperature growth lithography | ST-26 | 1003 | |
(15:20~16:40) (座長 | |||||
BD120 | 塩化物介在CVD法による多層CNT成長における一酸化炭素添加効果 | carbon nanotube carbon monoxide chemical vapor deposition | ST-26 | 769 | |
BD121 | コンビナトリアル手法による二元系触媒の最適化と カーボンナノチューブのカイラリティ選択的合成 | chemical vapor deposition carbon nanotubes chirality control | ST-26 | 883 | |
BD122 | 浮遊コーティングプロセスでMWCNT上に形成したTiO2層の形態に及ぼす反応条件の影響 | Nanocomposite Plasma-enhanced chemical vapor deposition Aerosolization | ST-26 | 681 | |
BD123 | [招待講演] 化学気相浸透法による複合材料製造の数値シミュレーション | chemical vapor infiltration composite materials numerical simulation | ST-26 | 805 |
講演発表プログラム
講演プログラム一覧(横長)
(同 縦長表示)
セッション一覧
講演プログラムの検索
化学工学会 第49回秋季大会