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化学工学会 第49回秋季大会

Last modified: 2017-09-06 10:00:00

講演プログラム(会場・日程別) : BD会場・第1日

講演要旨は各講演番号からリンクしています。(要ID/PW)詳細

BD 会場(2号館南 3F 232)第 1 日(9月20日(水))

ST-26

講演
時刻
講演
番号
講演題目/発表者キーワード分類
番号
受理
番号
ST-26 [部会横断型シンポジウム]
CVD・ドライプロセス ―デバイス構造・機能制御の反応工学―
(13:00~14:20) (座長 川上 雅人)
13:0013:40BD113[展望講演] 最先端プラズマ科学に基づいたプロセス制御未来産業への展望
Plasma
Deposition
Etching
ST-26770
13:4014:00BD115シリカプラズマCVDにおける気相種質量分析
plasma CVD
silica
mass spectrometry
ST-26618
14:0014:20BD116ECR放電を用いたプラズマCVD法によるカーボンナノウォール合成並列化手法検討
carbon nanowalls
plasma enhanced CVD
ST-26875
(14:20~15:20) (座長 下山 裕介)
14:2014:40BD117単層カーボンナノチューブ火炎合成:反応場・流れ場・触媒供給制御による高品質化
single-wall carbon nanotubes
flame synthesis
reaction field control
ST-2661
14:4015:00BD118CVD法を用いたカーボンナノチューブ合成に対する硫黄影響
carbon nanotube
sulfur
chemical vapor deposition
ST-2662
15:0015:20BD119導電性基板上での高密度カーボンナノチューブフォレスト低温成長技術開発
chemical vapor deposition
low temperature growth
lithography
ST-261003
(15:20~16:40) (座長 百瀬 健)
15:2015:40BD120塩化物介在CVD法による多層CNT成長における一酸化炭素添加効果
carbon nanotube
carbon monoxide
chemical vapor deposition
ST-26769
15:4016:00BD121コンビナトリアル手法による二元系触媒最適化カーボンナノチューブカイラリティ選択的合成
chemical vapor deposition
carbon nanotubes
chirality control
ST-26883
16:0016:20BD122浮遊コーティングプロセスでMWCNT上に形成したTiO2層の形態に及ぼす反応条件影響
Nanocomposite
Plasma-enhanced chemical vapor deposition
Aerosolization
ST-26681
16:2016:40BD123[招待講演] 化学気相浸透法による複合材料製造数値シミュレーション
chemical vapor infiltration
composite materials
numerical simulation
ST-26805

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