English page RELOAD
化学工学会 第86年会
講演プログラム検索結果 : CVD : 5件
講演要旨閲覧は講演番号をクリックしてください。
(参加登録者およびご招待者にメールでお知らせしたID/PWが必要です。)
(参加登録者およびご招待者にメールでお知らせしたID/PWが必要です。)
キーワード が『CVD』と一致する講演：5件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。
| 講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目／発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
|---|---|---|---|---|---|
| 第 1 日 | J112 | 対向拡散CVD法による耐熱性シリカ膜の開発 | CVD Silica membrane thermal stability | 4-a | 228 |
| 第 1 日 | PA139 | HMDSOを主原料としたプラズマCVDによる製膜中の発光分析 | CVD film plasma | 5-h | 24 |
| 第 1 日 | PA128 | 塩素フリーSiC-CVIにおける粉体抑制・均一埋め込みに向けたプロセス検討 | SiC CVI CVD | 5-h | 506 |
| 第 3 日 | K317 | MTS/H2を原料としたSiC-CVIにおける擬0次反応と犠牲層を併用したトレンチ内均一製膜 | SiC CVD CVI | 5-h | 383 |
| 第 3 日 | K319 | 三塩化ホウ素ガスとジクロロシランガスによる S-B 膜形成 | Silicon-boron CVD BCL3 | 5-h | 42 |
講演発表プログラム
講演プログラム一覧(横長)
(同 縦長表示)
セッション一覧
講演プログラムの検索
化学工学会 第86年会
(C) 2023 公益社団法人化学工学会 The Society of Chemical Engineers, Japan. All rights reserved.For more information contact 化学工学会 第86年会 実行委員会
E-mail: inquiry-86a
www3.scej.org