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化学工学会 第86年会
講演プログラム検索結果 : SiC : 3件
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キーワード が『SiC』と一致する講演：3件該当しました。
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| 講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目／発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
|---|---|---|---|---|---|
| 第 1 日 | PA128 | 塩素フリーSiC-CVIにおける粉体抑制・均一埋め込みに向けたプロセス検討 | SiC CVI CVD | 5-h | 506 |
| 第 1 日 | N123 | 4H-SiC ウエハエッチングにおける三フッ化塩素ガス分散構造の設計と検証 | SiC Wafer etching CLF3 gas | 11-c | 43 |
| 第 3 日 | K317 | MTS/H2を原料としたSiC-CVIにおける擬0次反応と犠牲層を併用したトレンチ内均一製膜 | SiC CVD CVI | 5-h | 383 |
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|---|
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