司会・座長氏名 が『川上 雅人』と一致するセッション:1件該当しました。
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講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目/発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
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第 1 日 | 座長 | ||||
DJ113 | [展望講演] 機械学習によるW-ALD成膜速度の予測精度向上と応用展開 | Machine Learning ALD Simulation | ST-24 | 221 | |
DJ115 | CCTBAを用いたCo-ALDプロセスの検討 | ALD cobalt CCTBA | ST-24 | 617 | |
DJ116 | [注目講演] ミニマルシリコンCVDにおける三塩化ホウ素によるホウ素ドーピング | Minimal Fab Silicon CVD Boron Doping | ST-24 | 9 | |
DJ117 | COSMO-SAC法による金属錯体の蒸気圧予測の検討 | vapor pressure metal complex COSMO-SAC | ST-24 | 686 | |
DJ118 | 真空紫外光による機能性保護膜コーティング法 | Vacuum ultraviolet light Polymer coating Surface modification | ST-24 | 237 |
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化学工学会 第53回秋季大会 (長野)