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化学工学会 第53回秋季大会 (長野)

Last modified: 2022-09-26 13:32:00

講演プログラム(セッション別) : ST-24

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ST-24 [部会横断型シンポジウム]
CVD/ALD・ドライプロセス -構造・機能制御の反応工学- <ライブ配信併用>

オーガナイザー:野田 優(早稲田大学)下山 裕介(東京工業大学)川上 雅人(東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ(株))百瀬 渉(ALDジャパン(株))

CVDやALDなどのドライプロセスはエレクトロニクス、エネルギーデバイス、機能性コーティングなど様々な分野で重要な基幹技術となっています。本シンポジウムでは、ドライプロセスを利用した薄膜形成、微粒子合成、微細加工の反応メカニズムを反応工学的見地より理解し、合理的で効率的な反応プロセスや反応装置を議論します。なお、優秀な発表をされた若手研究者には、CVD反応分科会奨励賞を贈呈します。

DJ 会場 ・ 第 1 日

講演
時刻
講演
番号
講演題目/発表者キーワード分類
番号
受理
番号
DJ 会場(C3 3F 301)第 1 日(9月14日(水))
(10:00~11:40) (座長 野田 優)
10:0010:40DJ104[展望講演] フラックスコーティング法が拓く結晶材料フロンティア
(信州大RISM/信州大工) ○手嶋 勝弥(信州大RISM) 山田 哲也(信州大工) 林 文隆(東理大理工/信州大RISM) 寺島 千晶
Flux method
Crystalline layer
Environmental and energy devices
ST-24119
10:4011:00DJ106SiC-CVI法における高濃度水素供給を利用した高速含浸条件の検討
(東大院工) ○(学)木村 俊介(学)大高 雄平(正)佐藤 登(IHI) (正)福島 康之(東大院工) 出浦 桃子(正)百瀬 健(正)霜垣 幸浩
SiC
CVI
CVD
ST-24450
11:0011:20DJ107アルキルアルミニウムを原料としたAlN薄膜合成法の検討
(京大工) ○(学)村橋 孝亮李 亜飛(正)影山 美帆(正)河瀬 元明
chemical vapor deposition
AlN
trimethylaluminium
ST-24407
11:2011:40DJ108密度汎関数法によるCu (111)表面におけるCuアセチルアセトナートの解離吸着に関する研究
(U. Tokyo) ○(学)Wu Yuxuan(正)Sato Noboru(学)Yamaguchi JunDeura Momoko(正)Momose Takeshi(正)Shimogaki Yukihiro
Atomic Layer Depositon
Density Function Theory
Surface Adsorption
ST-24599
(13:00~15:00) (座長 川上 雅人羽深 等)
13:0013:40DJ113[展望講演] 機械学習によるW-ALD成膜速度の予測精度向上と応用展開
(東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ) ○会田 倫崇山﨑 英亮堀田 隼史川口 拓哉成嶋 健索久保 敦史望月 誠一郎高木 俊夫
Machine Learning
ALD
Simulation
ST-24221
13:4014:00DJ115CCTBAを用いたCo-ALDプロセスの検討
(東大院工) ○(学)山口 潤(正)佐藤 登出浦 桃子(正)百瀬 健(正)霜垣 幸浩
ALD
cobalt
CCTBA
ST-24617
14:0014:20DJ116[注目講演] ミニマルシリコンCVDにおける三塩化ホウ素によるホウ素ドーピング
(横国大院理工) 加持 裕生(正)羽深 等(ミニマルファブ/産総研) 池田 伸一石田 夕起原 史朗
Minimal Fab
Silicon CVD
Boron Doping
ST-249
14:2014:40DJ117COSMO-SAC法による金属錯体の蒸気圧予測の検討
(東大院工) ○(正)佐藤 登(学)山口 潤(学)呉 宇軒出浦 桃子(正)百瀬 健(正)霜垣 幸浩
vapor pressure
metal complex
COSMO-SAC
ST-24686
14:4015:00DJ118真空紫外光による機能性保護膜コーティング法
(岐阜大院自) ○(学)横井 秋乃(正)早川 幸男(岐阜大院工) (正)神原 信志
Vacuum ultraviolet light
Polymer coating
Surface modification
ST-24237
(15:10~17:00) (座長 下山 裕介玉置 直樹)
15:1015:40DJ119[招待講演] レーザーを援用した化学気相析出による非酸化物セラミックスの構造と機能
(産総研) ○且井 宏和堀田 幹則(名大) 原田 勝可(NIMS) 下田 一哉
chemical vapor deposition
laser
microstructure
ST-24198
15:4016:00DJ121浮遊PECVDコーティングプロセスによるZnO-TiO2-CNTの作製
(広大院先進) ○(学)川原 淳人(正)久保 優(正)島田 学
photocatalytic activity
composite material
aerosol process
ST-24437
16:0016:20DJ122超臨界CO2を媒体とした磁性ナノ粒子合成における温度と圧力の影響
(東工大物質理工) ○(学)苅谷 啓杜(正)織田 耕彦(正)下山 裕介
supercritical CO2
magnetic nanoparticle
temperature and pressure
ST-24528
16:2016:40DJ123触媒原料急熱による単層カーボンナノチューブの気相連続CVD合成
(早大先進理工) ○(学)近嵐 樹(正)大沢 利男(正)野田 優
carbon nanotube
chemical vapor deposition
nanoparticle catalyst
ST-24239
16:4017:00DJ124超臨界CO2を利用した表面修飾Fe3O4ナノ粒子の洗浄
(東工大物質理工) ○(正)織田 耕彦池田 開(学)Wijakmatee Thossaporn(正)下山 裕介
carbon dioxide
magnetite nanoparticles
supercritical washing
ST-24497

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