DJ会場・第1日 - 講演プログラム（会場・日程別） - 化学工学会第53回秋季大会 (長野)

`化学工学会第53回秋季大会 (長野)`

Last modified: 2023-05-16 07:24:56

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講演プログラム（会場・日程別） : DJ会場・第1日

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DJ 会場(C3 3F 301) ・第 1 日(9月14日(水))

ST-24

講演時刻	講演番号	講演題目／発表者	キーワード	分類番号	受理番号
ST-24 [部会横断型シンポジウム] CVD/ALD・ドライプロセス－構造・機能制御の反応工学－＜ライブ配信併用＞
(10:00～11:40) (座長野田優)
10:00～ 10:40	DJ104	[展望講演] フラックスコーティング法が拓く結晶材料フロンティア (信州大RISM/信州大工) ○手嶋勝弥・ (信州大RISM) 山田哲也・ (信州大工) 林文隆・ (東理大理工/信州大RISM) 寺島千晶	Flux method Crystalline layer Environmental and energy devices	ST-24	119
10:40～ 11:00	DJ106	SiC-CVI法における高濃度水素供給を利用した高速含浸条件の検討 (東大院工) ○(学)木村俊介・ (学)大高雄平・ (正)佐藤登・ (IHI) (正)福島康之・ (東大院工) 出浦桃子・ (正)百瀬健・ (正)霜垣幸浩	SiC CVI CVD	ST-24	450
11:00～ 11:20	DJ107	アルキルアルミニウムを原料としたAlN薄膜合成法の検討 (京大工) ○(学)村橋孝亮・李亜飛・ (正)影山美帆・ (正)河瀬元明	chemical vapor deposition AlN trimethylaluminium	ST-24	407
11:20～ 11:40	DJ108	密度汎関数法によるCu (111)表面におけるCuアセチルアセトナートの解離吸着に関する研究 (U. Tokyo) ○(学)Wu Yuxuan・ (正)Sato Noboru・ (学)Yamaguchi Jun・ Deura Momoko・ (正)Momose Takeshi・ (正)Shimogaki Yukihiro	Atomic Layer Depositon Density Function Theory Surface Adsorption	ST-24	599
(13:00～15:00) (座長川上雅人・羽深等)
13:00～ 13:40	DJ113	[展望講演] 機械学習によるW-ALD成膜速度の予測精度向上と応用展開 (東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ) ○会田倫崇・山﨑英亮・堀田隼史・川口拓哉・成嶋健索・久保敦史・望月誠一郎・高木俊夫	Machine Learning ALD Simulation	ST-24	221
13:40～ 14:00	DJ115	CCTBAを用いたCo-ALDプロセスの検討 (東大院工) ○(学)山口潤・ (正)佐藤登・出浦桃子・ (正)百瀬健・ (正)霜垣幸浩	ALD cobalt CCTBA	ST-24	617
14:00～ 14:20	DJ116	[注目講演] ミニマルシリコンCVDにおける三塩化ホウ素によるホウ素ドーピング (横国大院理工) 加持裕生・ ○(正)羽深等・ (ミニマルファブ/産総研) 池田伸一・石田夕起・原史朗	Minimal Fab Silicon CVD Boron Doping	ST-24	9
14:20～ 14:40	DJ117	COSMO-SAC法による金属錯体の蒸気圧予測の検討 (東大院工) ○(正)佐藤登・ (学)山口潤・ (学)呉宇軒・出浦桃子・ (正)百瀬健・ (正)霜垣幸浩	vapor pressure metal complex COSMO-SAC	ST-24	686
14:40～ 15:00	DJ118	真空紫外光による機能性保護膜コーティング法 (岐阜大院自) ○(学)横井秋乃・ (正)早川幸男・ (岐阜大院工) (正)神原信志	Vacuum ultraviolet light Polymer coating Surface modification	ST-24	237
(15:10～17:00) (座長下山裕介・玉置直樹)
15:10～ 15:40	DJ119	[招待講演] レーザーを援用した化学気相析出による非酸化物セラミックスの構造と機能 (産総研) ○且井宏和・堀田幹則・ (名大) 原田勝可・ (NIMS) 下田一哉	chemical vapor deposition laser microstructure	ST-24	198
15:40～ 16:00	DJ121	浮遊PECVDコーティングプロセスによるZnO-TiO₂-CNTの作製 (広大院先進) ○(学)川原淳人・ (正)久保優・ (正)島田学	photocatalytic activity composite material aerosol process	ST-24	437
16:00～ 16:20	DJ122	超臨界CO₂を媒体とした磁性ナノ粒子合成における温度と圧力の影響 (東工大物質理工) ○(学)苅谷啓杜・ (正)織田耕彦・ (正)下山裕介	supercritical CO2 magnetic nanoparticle temperature and pressure	ST-24	528
16:20～ 16:40	DJ123	触媒原料急熱による単層カーボンナノチューブの気相連続CVD合成 (早大先進理工) ○(学)近嵐樹・ (正)大沢利男・ (正)野田優	carbon nanotube chemical vapor deposition nanoparticle catalyst	ST-24	239
16:40～ 17:00	DJ124	超臨界CO₂を利用した表面修飾Fe₃O₄ナノ粒子の洗浄 (東工大物質理工) ○(正)織田耕彦・池田開・ (学)Wijakmatee Thossaporn・ (正)下山裕介	carbon dioxide magnetite nanoparticles supercritical washing	ST-24	497

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講演プログラム（会場・日程別） : DJ会場・第1日

DJ 会場(C3 3F 301) ・ 第 1 日(9月14日(水))

`化学工学会第53回秋季大会 (長野)`

DJ 会場(C3 3F 301) ・第 1 日(9月14日(水))