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化学工学会 第53回秋季大会 (長野)

Last modified: 2023-05-16 07:24:56

講演プログラム（セッション別） : SY-76

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SY-76 [エレクトロニクス部会シンポジウム]
エレクトロニクス材料とプロセス技術

オーガナイザー：羽深　等（横浜国立大学）・齊藤 丈靖（大阪公立大学）・岩本 猛（三菱電機(株)）

エレクトロニクス材料とプロセス技術に関する研究に関して研究発表を公募します。
めっき、電池材料、を始め様々な材料の研究がエレクトロ二クスには不可欠です。広い分野に亘るエレクトロ二クス材料の研究を募集いたします。多数ご参加ください。

BB 会場 ・ 第 3 日

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
BB 会場(W5 2F 23) ・ 第 3 日(9月16日(金))
(13:00～13:40) (司会 羽深 等・岩本 猛)
13:00～ 13:40BB313[展望講演] 半導体デバイスウェーハ用CMP装置と技術
(荏原製作所) (法)檜山 浩國
CMP
Semiconductor device
Equipment
SY-7665
(13:40～14:20) (司会 齊藤 丈靖・岩本 猛)
13:40～ 14:20BB315[展望講演] マテリアルズインフォマティクスを活用した蓄電池材料開発の現状と展望
(NIMS) 松田 翔一
Battery
Materials informatics
Future prospect
SY-7661
(14:20～14:40) (座長 羽深 等・岩本 猛)
14:20～ 14:40BB317Mg二次電池用Biアノードの析出形態制御と充放電特性
(大公大院工) ○(学)松本 周・ 成本 夏輝・ (正)岡本 尚樹・ (正)齋藤 丈靖
electrodeposition
rechargeable magnesium battery
SY-76763
14:40～ 15:00休憩
(15:00～15:20) (座長 齊藤 丈靖・岩本 猛)
15:00～ 15:20BB319壁面排出孔によるシリコンウエハ湿式洗浄槽の水流単純化
(横国大理工) 土田 透子・ 高橋 俊範・ ○(正)羽深 等・ (プレテック) 後藤 昭広
Silicon wafer
Wet cleaning bath
Water flow
SY-767
(15:20～16:00) (司会 羽深 等・齊藤 丈靖)
15:20～ 15:40BB320[招待講演] 液晶・高分子複合素子とその応用
(秋田大理工) 山口 留美子
Liquid crystal
Polymer
Hybrid device
SY-7662
15:40～ 16:00BB321[招待講演] 熱電発電による熱と資源の循環
(産総研) ○舟橋 良次・ 三上 祐史
Resource recirculation
Thermoelectric power generation
Heat recirculation
SY-7663

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化学工学会 第53回秋季大会 (長野)

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