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化学工学会 第53回秋季大会 (長野)

講演プログラム検索結果 : Kawakami Masato : 1件

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司会・座長氏名 が『Kawakami Masato』と一致するセッション：1件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。また、フラッシュ付きポスターの場合、フラッシュとポスターの２件となります。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
13:00～ 15:00		   座長 川上 雅人・羽深 等
DJ113[展望講演] 機械学習によるW-ALD成膜速度の予測精度向上と応用展開
(東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ) ○会田 倫崇・ 山﨑 英亮・ 堀田 隼史・ 川口 拓哉・ 成嶋 健索・ 久保 敦史・ 望月 誠一郎・ 高木 俊夫
Machine Learning
ALD
Simulation
ST-24221
DJ115CCTBAを用いたCo-ALDプロセスの検討
(東大院工) ○(学)山口 潤・ (正)佐藤 登・ 出浦 桃子・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
ALD
cobalt
CCTBA
ST-24617
DJ116[注目講演] ミニマルシリコンCVDにおける三塩化ホウ素によるホウ素ドーピング
(横国大院理工) 加持 裕生・ ○(正)羽深 等・ (ミニマルファブ/産総研) 池田 伸一・ 石田 夕起・ 原 史朗
Minimal Fab
Silicon CVD
Boron Doping
ST-249
DJ117COSMO-SAC法による金属錯体の蒸気圧予測の検討
(東大院工) ○(正)佐藤 登・ (学)山口 潤・ (学)呉 宇軒・ 出浦 桃子・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
vapor pressure
metal complex
COSMO-SAC
ST-24686
DJ118真空紫外光による機能性保護膜コーティング法
(岐阜大院自) ○(学)横井 秋乃・ (正)早川 幸男・ (岐阜大院工) (正)神原 信志
Vacuum ultraviolet light
Polymer coating
Surface modification
ST-24237

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