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化学工学会 第53回秋季大会 (長野)

講演プログラム検索結果 : アスペクト : 2件

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講演題目 が『アスペクト』を含む講演：2件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。また、フラッシュ付きポスターの場合、フラッシュとポスターの２件となります。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 2 日
10:40～ 11:00		CB206高アスペクト比構造へのCu-SCFDプロセス最適設計に向けたCu(tmhd)2のscCO2への溶解度と拡散係数の測定
(東大院工) ○(学)師井 滉平・ Huang Yuyuan・ 出浦 桃子・ (東工大物質理工) (正)下山 裕介・ (東大院工) (正)霜垣 幸浩・ (正)百瀬 健
supercritical fluid deposition
solubility
diffusivity
SY-73399
第 2 日
13:00～ 13:40		AC213[招待講演] 3次元フラッシュメモリ向け高アスペクトホールのエッチングプロセス
(キオクシア) ○福水 裕之・ 栗原 一彰・ 大村 光広
Plasma Process
3D Flash Memory
Etching
ST-27850

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化学工学会 第53回秋季大会 (長野)

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