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化学工学会 第51回秋季大会 (2020)

講演プログラム検索結果 : 原子層堆積法 : 2件

全てのセッションはオンライン学会会場で実施されます。
(9/10) 講演要旨を公開しました(参加登録者、ご招待者限定)。講演番号をクリックしてください。
(ID/PWは事前参加登録者には9/10に,当日参加登録者には9/23に(オンライン学会会場のID/PWと併せて)お知らせしました。)
(8/8) SY-69のフラッシュ発表は中止となりました。
(8/24,8/27) SY-74のX306,X307、HQ-11のD301の時間が変わりました。

講演題目 が『原子層堆積法』を含む講演：2件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。また、フラッシュ付きポスターの場合、フラッシュとポスターの２件となります。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
16:20～ 17:00		B123[招待講演] 室温原子層堆積法の開発とイオン交換吸着膜への応用
JISSO
Tohoku
Deposition
SP-1870
第 3 日
11:20～ 12:00		K308[展望講演] 原子層堆積法の諸課題とセミバッチ法の展開・展望
ALD
Equipment
Semi-Batch
ST-22111
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化学工学会 第51回秋季大会 (2020)

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E-mail: inquiry-51fwww3.scej.org