化学工学会 第82年会 (東京 2017)
Last modified: 2017-02-20 10:00:00
講演プログラム検索結果 : CVD : 11件
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キーワード が『CVD』と一致する講演：11件該当しました。
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| 講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目／発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
|---|---|---|---|---|---|
| Day 2 | E201 | [Invited lecture] Analysis and Design of CVD/ALD processes Based on Chemical Reaction Engineering | Chemical Reaction Engineering CVD Process Design | K-2 | 838 |
| Day 2 | E217 | [Requested talk] Synthesis of carbon nitride using microwave plasma CVD | plasma CVD carbon nitride | K-2 | 477 |
| 第 3 日 | PD334 | シリカ複合膜の炭化水素分離 | hydrocarbon CVD silica membrane | 4-a | 132 |
| 第 3 日 | PD372 | 耐酸性水素透過シリカ膜の開発 | hydrogen CVD silica membrane | 4-a | 122 |
| 第 3 日 | PD376 | CVDシリカ膜の実用化に向けた検討 | silica membrane CVD gas separation | 4-a | 615 |
| 第 3 日 | G307 | 銅箔上での大面積グラフェン合成に向けた化学エッチング条件の検討 | Graphene CVD Chemical etching | 5-h | 476 |
| 第 3 日 | G308 | SiC-CVIプロセスの合理設計による超均一含浸の実現および複合材料特性への影響 | CVD SiC CMC | 5-h | 552 |
| 第 3 日 | G309 | モノメチルトリクロロシランを用いたSiC-CVDプロセス最適化のための総括反応モデル構築 (4) | SiC Reaction model CVD | 5-h | 664 |
| 第 3 日 | PE383 | SiC-CVIプロセスにおけるマルチスケールでの均一成長を目指したHClガス添加及び高濃度原料供給効果 | CVD SiC | 5-h | 478 |
| 第 3 日 | PE386 | 熱CVD法によるTi1-xAlxNの合成と評価 | CVD coating TiAlN | 5-h | 321 |
| 第 3 日 | X310 | 高速噴流を使用したプラズマCVD中でのシリコン高速製膜 | CVD silicon high deposition rate | HQ-21 | 109 |
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化学工学会 第82年会 (東京 2017)
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