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化学工学会 第83年会

Last modified: 2018-02-27 10:00:00

講演プログラム検索結果 : CVD : 3件

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キーワード が『CVD』と一致する講演：3件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 2 日
15:40～ 16:00		J221対向拡散CVD法による高水素選択透過性シリカ膜の開発
(RITE) ○(正)浦井 宏美・ (正)西野 仁・ (正)瀬下 雅博・ (正)西田 亮一・ (正)中尾 真一
silica membrane
CVD
hydrogen
4-a607
第 3 日
10:00～ 10:20		K304熱CVD法による高Al組成fcc-TiAlN膜の合成
CVD
TiAlN
cutting tool
5-h639
第 3 日
13:20～ 15:20		PE389固体炭素源を用いたプラズマCVDによるグラフェン膜の合成
graphene
plasma
CVD
5-h575
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化学工学会 第83年会

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