化学工学会 第84年会
Last modified: 2019-03-12 11:30:00
講演プログラム検索結果 : CVD : 6件
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HC-13, HC-17, K-1にプログラム変更があります。
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キーワード が『CVD』と一致する講演：6件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。
| 講演 時刻 | 講演 番号 | 講演題目／発表者 | キーワード | 分類 番号 | 受理 番号 |
|---|---|---|---|---|---|
| 第 2 日 | F203 | 片端を封止した基材上へのCVDシリカ膜の製膜 | siloca membrane CVD hydrogen | 4-a | 1038 |
| 第 3 日 | PD310 | 新規シリカ複合膜によるイオン分離 | Silica membrane CVD ion separation | 4-a | 1208 |
| 第 3 日 | PD314 | CVDシリカ膜の蒸着機構検討 | silica membrane CVD inorganic membrane | 4-a | 185 |
| 第 3 日 | PD315 | 対向拡散CVD法による炭化ケイ素系ガス分離膜の合成 | Silicon Carbide CVD Gas Seapration | 4-a | 18 |
| 第 3 日 | PE358 | SiC-CVDにおける副生成物低減及び原料リサイクル技術の検討 | CVD CVI SiC | 5-h | 970 |
| 第 3 日 | PE371 | TiAlN-CVDプロセスの反応モデル構築に向けた速度過程解析 | CVD TiAlN cutting tool | 5-h | 982 |
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