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化学工学会 第51回秋季大会 (2020)

講演プログラム検索結果 : CVD : 10件

全てのセッションはオンライン学会会場で実施されます。
(9/10) 講演要旨を公開しました(参加登録者、ご招待者限定)。講演番号をクリックしてください。
(ID/PWは事前参加登録者には9/10に,当日参加登録者には9/23に(オンライン学会会場のID/PWと併せて)お知らせしました。)
(8/8) SY-69のフラッシュ発表は中止となりました。
(8/24,8/27) SY-74のX306,X307、HQ-11のD301の時間が変わりました。

キーワード が『CVD』と一致する講演：10件該当しました。
検索結果は開始時刻順に並んでいます。また、フラッシュ付きポスターの場合、フラッシュとポスターの２件となります。

講演
時刻		講演
番号		講演題目／発表者キーワード分類
番号		受理
番号
第 1 日
9:00～ 10:30		PA107詳細化学反応速度モデルとOpenFOAMを用いたCVD反応器の熱流体解析
(名大院工) ○(学·技基)古田 凌・ (海)チョウ イ・ (正)町田 洋・ (正)則永 行庸
CVD
Simulation
OpenFOAM
SY-64717
第 1 日
12:40～ 13:40		PA107詳細化学反応速度モデルとOpenFOAMを用いたCVD反応器の熱流体解析
(名大院工) ○(学·技基)古田 凌・ (海)チョウ イ・ (正)町田 洋・ (正)則永 行庸
CVD
Simulation
OpenFOAM
SY-64717
第 2 日
10:40～ 11:00		K206ペロブスカイト薄膜の中心金属種が構造に与える影響
(京大工) ○(学·技基)松田 萌・ (学)村上 誉紀・ (学)松村 南月・ (正)河瀬 元明
CVD
perovskite
central metals
ST-22414
第 2 日
13:20～ 13:40		K214MTS/H2を原料としたSiC-CVDプロセスにおけるSiCl4添加効果の検討
CVD
SiC
Recycle
ST-22556
第 2 日
14:20～ 14:40		K217TiAlN-CVDプロセスの反応モデル構築に向けた速度過程解析(2)
CVD
TiAlN
cutting tool
ST-22153
第 2 日
15:00～ 15:20		I219水蒸気添加が熱分解炭素CVDに及ぼす影響
(京大工) ○(学·技基)南 遼河・ (学·技基)松田 萌・ (正)河瀬 元明
CVD
Carbon
Steam
SY-63251
第 3 日
9:00～ 9:20		K301アセチレンの高温熱分解によるナノ粒子・ナノチューブ炭素複合体の連続合成
Carbon nanoparticle
Carbon nanotube
CVD
ST-22175
第 3 日
10:00～ 10:20		K304シリコンミニマルCVD装置内ガス移動の水晶振動子による観察
CVD
QCM
Minimal
ST-2262
第 3 日
10:40～ 11:00		K306多結晶SiC-CVDの高速・均一化に向けた反応機構解析
(東大院工) ○(学)奥 友則・ (正)出浦 桃子・ (正)百瀬 健・ (正)霜垣 幸浩
Reaction model
SiC
CVD
ST-22499
第 3 日
13:20～ 13:40		K314プラズマCVD法で作製したシリカ系ガスバリア膜の残留応力
CVD
Residual stress
Silica gas barrier film
ST-2213
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化学工学会 第51回秋季大会 (2020)

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